ಎನ್ಐ ಮತ್ತು ಅದರ ಎರಡು-ಮಾರ್ಗದ ಪಾಲಿಮರ್-ಮುಕ್ತ ವರ್ಗಾವಣೆಯಲ್ಲಿ ಅರೆಪಾರದರ್ಶಕ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಬೆಳೆಸುವುದು

ನೇಚರ್.ಕಾಮ್ಗೆ ಭೇಟಿ ನೀಡಿದಕ್ಕಾಗಿ ಧನ್ಯವಾದಗಳು. ನೀವು ಬಳಸುತ್ತಿರುವ ಬ್ರೌಸರ್‌ನ ಆವೃತ್ತಿಯು ಸೀಮಿತ ಸಿಎಸ್ಎಸ್ ಬೆಂಬಲವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಉತ್ತಮ ಫಲಿತಾಂಶಗಳಿಗಾಗಿ, ನಿಮ್ಮ ಬ್ರೌಸರ್‌ನ ಹೊಸ ಆವೃತ್ತಿಯನ್ನು ಬಳಸಬೇಕೆಂದು ನಾವು ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡುತ್ತೇವೆ (ಅಥವಾ ಇಂಟರ್ನೆಟ್ ಎಕ್ಸ್‌ಪ್ಲೋರರ್‌ನಲ್ಲಿ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಮೋಡ್ ಅನ್ನು ನಿಷ್ಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸಿ). ಈ ಮಧ್ಯೆ, ನಡೆಯುತ್ತಿರುವ ಬೆಂಬಲವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ನಾವು ಸ್ಟೈಲಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಜಾವಾಸ್ಕ್ರಿಪ್ಟ್ ಇಲ್ಲದೆ ಸೈಟ್ ಅನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತಿದ್ದೇವೆ.
ನ್ಯಾನೊಸ್ಕೇಲ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು (ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಎಸ್) ದೃ rob ವಾದ ನ್ಯಾನೊವಸ್ತುಗಳಾಗಿವೆ, ಇವುಗಳನ್ನು ವೇಗವರ್ಧಕ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆಯಿಂದ ಉತ್ಪಾದಿಸಬಹುದು, ಆದರೆ ಪ್ರಶ್ನೆಗಳು ಅವುಗಳ ವರ್ಗಾವಣೆಯ ಸುಲಭತೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನವು ಮುಂದಿನ ಪೀಳಿಗೆಯ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಅವುಗಳ ಬಳಕೆಯ ಮೇಲೆ ಹೇಗೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ ಎಂಬುದರ ಬಗ್ಗೆ ಉಳಿದಿದೆ. ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ (ಪ್ರದೇಶ 55 ಸೆಂ 2, ದಪ್ಪ ಸುಮಾರು 100 ಎನ್ಎಂ) ಮತ್ತು ಅದರ ಪಾಲಿಮರ್-ಮುಕ್ತ ವರ್ಗಾವಣೆ (ಮುಂಭಾಗ ಮತ್ತು ಹಿಂಭಾಗ, 6 ಸೆಂ 2 ವರೆಗಿನ ಪ್ರದೇಶ) ನ ಎರಡೂ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಬೆಳವಣಿಗೆಯನ್ನು ನಾವು ಇಲ್ಲಿ ವರದಿ ಮಾಡುತ್ತೇವೆ. ವೇಗವರ್ಧಕ ಫಾಯಿಲ್ನ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನದಿಂದಾಗಿ, ಎರಡು ಇಂಗಾಲದ ಚಲನಚಿತ್ರಗಳು ಅವುಗಳ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಲ್ಲಿ ಭಿನ್ನವಾಗಿವೆ (ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ). ಕಠಿಣವಾದ ಹಿಂಬದಿ ಹೊಂದಿರುವ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗಳು NO2 ಪತ್ತೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿವೆ ಎಂದು ನಾವು ತೋರಿಸುತ್ತೇವೆ, ಆದರೆ ಮುಂಭಾಗದ ಬದಿಯಲ್ಲಿ ಸುಗಮ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ವಾಹಕ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗಳು (2000 ಸೆ/ಸೆಂ, ಶೀಟ್ ಪ್ರತಿರೋಧ - 50 ಓಮ್ಸ್/ಮೀ 2) ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯವಾದ ಕಂಡಕ್ಟರ್‌ಗಳಾಗಿರಬಹುದು. ಸೌರ ಕೋಶದ ಚಾನಲ್ ಅಥವಾ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರ (ಇದು ಗೋಚರ ಬೆಳಕಿನ 62% ರಷ್ಟು ಹರಡುತ್ತದೆ). ಒಟ್ಟಾರೆಯಾಗಿ, ವಿವರಿಸಿದ ಬೆಳವಣಿಗೆ ಮತ್ತು ಸಾರಿಗೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಅನ್ನು ತಾಂತ್ರಿಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಪರ್ಯಾಯ ಇಂಗಾಲದ ವಸ್ತುವಾಗಿ ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಅಲ್ಲಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರಾನ್-ದಪ್ಪ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಚಲನಚಿತ್ರಗಳು ಸೂಕ್ತವಲ್ಲ.
ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಕೈಗಾರಿಕಾ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿಮಾನ ಉಷ್ಣ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ವಾಹಕತೆಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಮತ್ತು ಕಠಿಣ ಉಷ್ಣ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಇದು ತುಂಬಾ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಫ್ಲೇಕ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ರಿಸರ್ಚ್ 3 ಗಾಗಿ ಪ್ರಸಿದ್ಧವಾದ ಆರಂಭಿಕ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳಾಗಿ ಸಂಸ್ಕರಿಸಿದಾಗ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳಾದ ಸ್ಮಾರ್ಟ್‌ಫೋನ್‌ಗಳಾದ 4,5,6,7, ಸಂವೇದಕಗಳು 8,9,10 ರಲ್ಲಿ ಸಕ್ರಿಯ ವಸ್ತುವಾಗಿ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪ ರಕ್ಷಣೆ 11 ಗಾಗಿ ಇದನ್ನು ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಬಹುದು. 12 ಮತ್ತು ಎಕ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ನೇರಳಾತೀತ 13,14 ರಲ್ಲಿ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿಗಾಗಿ ಚಲನಚಿತ್ರಗಳು, ಸೌರ ಕೋಶಗಳಲ್ಲಿ ಚಾನೆಲ್‌ಗಳನ್ನು ನಡೆಸುತ್ತವೆ 15,16. ಈ ಎಲ್ಲಾ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ, ನ್ಯಾನೊಸ್ಕೇಲ್ <100 ಎನ್‌ಎಂನಲ್ಲಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲ್ಪಡುವ ದಪ್ಪವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ (ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗಳು) ದೊಡ್ಡ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು ಸುಲಭವಾಗಿ ಉತ್ಪಾದಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಸಾಗಿಸಬಹುದು.
ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಚಲನಚಿತ್ರಗಳನ್ನು ವಿವಿಧ ವಿಧಾನಗಳಿಂದ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಒಂದು ಸಂದರ್ಭದಲ್ಲಿ, ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಫ್ಲೇಕ್ಸ್ 10,11,17 ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಎಂಬೆಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ವಿಸ್ತರಣೆಯನ್ನು ಎಫ್ಫೋಲಿಯೇಶನ್ ನಂತರ ಬಳಸಲಾಯಿತು. ಫ್ಲೇಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ದಪ್ಪದ ಚಲನಚಿತ್ರಗಳಾಗಿ ಮತ್ತಷ್ಟು ಸಂಸ್ಕರಿಸಬೇಕು, ಮತ್ತು ದಟ್ಟವಾದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಹಾಳೆಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಇದು ಹಲವಾರು ದಿನಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಮತ್ತೊಂದು ವಿಧಾನವೆಂದರೆ ಗ್ರಾಫಬಲ್ ಘನ ಪೂರ್ವಗಾಮಿಗಳೊಂದಿಗೆ ಪ್ರಾರಂಭಿಸುವುದು. ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ, ಪಾಲಿಮರ್‌ಗಳ ಹಾಳೆಗಳನ್ನು ಕಾರ್ಬೊನೈಸ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ (1000–1500 ° C ನಲ್ಲಿ) ಮತ್ತು ನಂತರ ಉತ್ತಮವಾಗಿ ರಚಿಸಲಾದ ಲೇಯರ್ಡ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟೈಸ್ ಮಾಡಿ (2800–3200 ° C ನಲ್ಲಿ). ಈ ಚಲನಚಿತ್ರಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟ ಹೆಚ್ಚಾಗಿದ್ದರೂ, ಶಕ್ತಿಯ ಬಳಕೆ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿದೆ 1,18,19 ಮತ್ತು ಕನಿಷ್ಠ ದಪ್ಪವು ಕೆಲವು ಮೈಕ್ರಾನ್‌ಗಳಿಗೆ ಸೀಮಿತವಾಗಿದೆ 1,18,19,20.
ಕ್ಯಾಟಲಿಟಿಕ್ ಕೆಮಿಕಲ್ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (ಸಿವಿಡಿ) ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಮತ್ತು ಅಲ್ಟ್ರಾಥಿನ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು (<10 ಎನ್‌ಎಂ) ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ಪ್ರಸಿದ್ಧ ವಿಧಾನವಾಗಿದ್ದು, ಹೆಚ್ಚಿನ ರಚನಾತ್ಮಕ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಸಮಂಜಸವಾದ ವೆಚ್ಚ 21,22,23,24,25,26,27. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಮತ್ತು ಅಲ್ಟ್ರಾಥಿನ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ ಬೆಳವಣಿಗೆಯೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ದೊಡ್ಡ ಪ್ರದೇಶದ ಬೆಳವಣಿಗೆ ಮತ್ತು/ಅಥವಾ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಸಿವಿಡಿಯನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಇನ್ನೂ ಕಡಿಮೆ ಪರಿಶೋಧಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ 11,13,29,30,31,32,33.
ಸಿವಿಡಿ-ಬೆಳೆದ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಮತ್ತು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ತಲಾಧಾರಗಳಿಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. . ಪ್ರತಿಯೊಂದು ವಿಧಾನವು ಕೆಲವು ಅನುಕೂಲಗಳು ಮತ್ತು ಅನಾನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಬೇರೆಡೆ 35,39 ವಿವರಿಸಿದಂತೆ ಉದ್ದೇಶಿತ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬೇಕು. ವೇಗವರ್ಧಕ ತಲಾಧಾರಗಳಲ್ಲಿ ಬೆಳೆದ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್/ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳಿಗಾಗಿ, ಆರ್ದ್ರ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಮೂಲಕ ವರ್ಗಾವಣೆ (ಇದರಲ್ಲಿ ಪಾಲಿಮೆಥೈಲ್ ಮೆಥಾಕ್ರಿಲೇಟ್ (ಪಿಎಂಎಂಎ) ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಬೆಂಬಲ ಪದರವಾಗಿದೆ) ಮೊದಲ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿ ಉಳಿದಿದೆ 13,30,34,38,40,41,42. ನೀವು ಮತ್ತು ಇತರರು. ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ವರ್ಗಾವಣೆಗೆ ಯಾವುದೇ ಪಾಲಿಮರ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಲಾಗಿಲ್ಲ ಎಂದು ಉಲ್ಲೇಖಿಸಲಾಗಿದೆ (ಮಾದರಿ ಗಾತ್ರ ಸರಿಸುಮಾರು 4 ಸೆಂ 2) 25,43, ಆದರೆ ವರ್ಗಾವಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮಾದರಿ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು/ಅಥವಾ ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಬಗ್ಗೆ ಯಾವುದೇ ವಿವರಗಳನ್ನು ನೀಡಲಾಗಿಲ್ಲ; ಪಾಲಿಮರ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸುವ ಆರ್ದ್ರ ರಸಾಯನಶಾಸ್ತ್ರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಹಲವಾರು ಹಂತಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ, ಇದರಲ್ಲಿ ತ್ಯಾಗದ ಪಾಲಿಮರ್ ಲೇಯರ್ 30,38,40,41,42 ಅನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು ಸೇರಿದಂತೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಅನಾನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ: ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಪಾಲಿಮರ್ ಅವಶೇಷಗಳು ಬೆಳೆದ ಫಿಲ್ಮ್ 38 ರ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು. ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯು ಉಳಿದ ಪಾಲಿಮರ್ ಅನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಬಹುದು, ಆದರೆ ಈ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಹಂತಗಳು ಫಿಲ್ಮ್ ಪ್ರೊಡಕ್ಷನ್ 38,40 ರ ವೆಚ್ಚ ಮತ್ತು ಸಮಯವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. ಸಿವಿಡಿ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಪದರವನ್ನು ವೇಗವರ್ಧಕ ಫಾಯಿಲ್ನ ಮುಂಭಾಗದ ಬದಿಯಲ್ಲಿ ಮಾತ್ರವಲ್ಲದೆ (ಉಗಿ ಹರಿವನ್ನು ಎದುರಿಸುತ್ತಿರುವ ಬದಿ), ಆದರೆ ಅದರ ಹಿಂಭಾಗದಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಎರಡನೆಯದನ್ನು ತ್ಯಾಜ್ಯ ಉತ್ಪನ್ನವೆಂದು ಪರಿಗಣಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮೃದುವಾದ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ 38,41 ನಿಂದ ತ್ವರಿತವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಬಹುದು. ಈ ಚಿತ್ರವನ್ನು ಮರುಬಳಕೆ ಮಾಡುವುದರಿಂದ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಗರಿಷ್ಠಗೊಳಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಅದು ಫೇಸ್ ಕಾರ್ಬನ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಗುಣಮಟ್ಟದ್ದಾಗಿದ್ದರೂ ಸಹ.
ಸಿವಿಡಿಯಿಂದ ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ನಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ರಚನಾತ್ಮಕ ಗುಣಮಟ್ಟದೊಂದಿಗೆ ಎನ್ಜಿಎಫ್ನ ವೇಫರ್-ಸ್ಕೇಲ್ ಬೈಫೇಶಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ತಯಾರಿಕೆಯನ್ನು ಇಲ್ಲಿ ನಾವು ವರದಿ ಮಾಡುತ್ತೇವೆ. ಫಾಯಿಲ್ನ ಮುಂಭಾಗ ಮತ್ತು ಹಿಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಒರಟುತನವು ಎನ್ಜಿಎಫ್ನ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ರಚನೆಯ ಮೇಲೆ ಹೇಗೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ ಎಂಬುದನ್ನು ನಿರ್ಣಯಿಸಲಾಗಿದೆ. ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ನ ಎರಡೂ ಬದಿಗಳಿಂದ ಎನ್ಜಿಎಫ್ನ ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಮತ್ತು ಪರಿಸರ ಸ್ನೇಹಿ ಪಾಲಿಮರ್-ಮುಕ್ತ ವರ್ಗಾವಣೆಯನ್ನು ಮಲ್ಟಿಫಂಕ್ಷನಲ್ ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್ಗಳಿಗೆ ನಾವು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತೇವೆ ಮತ್ತು ಮುಂಭಾಗ ಮತ್ತು ಹಿಂಭಾಗದ ಚಲನಚಿತ್ರಗಳು ವಿವಿಧ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಹೇಗೆ ಸೂಕ್ತವೆಂದು ತೋರಿಸುತ್ತೇವೆ.
ಜೋಡಿಸಲಾದ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಪದರಗಳ ಸಂಖ್ಯೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ ಈ ಕೆಳಗಿನ ವಿಭಾಗಗಳು ವಿಭಿನ್ನ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪಗಳನ್ನು ಚರ್ಚಿಸುತ್ತವೆ: (i) ಸಿಂಗಲ್ ಲೇಯರ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ (ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಜಿ, 1 ಲೇಯರ್), (ii) ಕೆಲವು ಲೇಯರ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ (ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ, <10 ಪದರಗಳು), (iii) ಮಲ್ಟಿಲೇಯರ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ (ಎಂಎಲ್‌ಜಿ, 10-30 ಪದರಗಳು) ಮತ್ತು (ಐವಿ) ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ (~ 300 ಪದರಗಳು). ಎರಡನೆಯದು ಪ್ರದೇಶದ ಶೇಕಡಾವಾರು (100 µm2 ಗೆ ಅಂದಾಜು 97% ಪ್ರದೇಶ) 30 ರಂತೆ ವ್ಯಕ್ತಪಡಿಸಿದ ಸಾಮಾನ್ಯ ದಪ್ಪವಾಗಿದೆ. ಅದಕ್ಕಾಗಿಯೇ ಇಡೀ ಚಿತ್ರವನ್ನು ಕೇವಲ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಮತ್ತು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಚಲನಚಿತ್ರಗಳ ಸಂಶ್ಲೇಷಣೆಗೆ ಬಳಸುವ ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ಗಳು ಅವುಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ನಂತರದ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ವಿಭಿನ್ನ ಟೆಕಶ್ಚರ್ಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ 30 ರ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ನಾವು ಇತ್ತೀಚೆಗೆ ಅಧ್ಯಯನವನ್ನು ವರದಿ ಮಾಡಿದ್ದೇವೆ. ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಅನೆಲಿಂಗ್ ಸಮಯ ಮತ್ತು ಚೇಂಬರ್ ಒತ್ತಡದಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಏಕರೂಪದ ದಪ್ಪದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗಳನ್ನು ಪಡೆಯುವಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತವೆ ಎಂದು ನಾವು ತೋರಿಸುತ್ತೇವೆ. ಇಲ್ಲಿ, ಪಾಲಿಶ್ಡ್ ಫ್ರಂಟ್ (ಎಫ್ಎಸ್) ಮತ್ತು ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ (ಚಿತ್ರ 1 ಎ) ನ ಪಾಲಿಶ್ಡ್ ಬ್ಯಾಕ್ (ಬಿಎಸ್) ಮೇಲ್ಮೈಗಳಲ್ಲಿ ಎನ್ಜಿಎಫ್ನ ಬೆಳವಣಿಗೆಯನ್ನು ನಾವು ಮತ್ತಷ್ಟು ತನಿಖೆ ಮಾಡಿದ್ದೇವೆ. ಮೂರು ರೀತಿಯ ಮಾದರಿಗಳಾದ ಎಫ್‌ಎಸ್ ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್ ಅನ್ನು ಕೋಷ್ಟಕ 1 ರಲ್ಲಿ ಪಟ್ಟಿ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ. ದೃಶ್ಯ ತಪಾಸಣೆಯ ನಂತರ, ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ (ಎನ್‌ಐಎಜಿ) ಯ ಎರಡೂ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಏಕರೂಪದ ಬೆಳವಣಿಗೆಯನ್ನು ಬೃಹತ್ ನಿ ತಲಾಧಾರದ ಬಣ್ಣ ಬದಲಾವಣೆಯಿಂದ ವಿಶಿಷ್ಟ ಲೋಹೀಯ ಬೆಳ್ಳಿ ಬೂದು ಬಣ್ಣದಿಂದ ಮ್ಯಾಟ್ ಬೂದು ಬಣ್ಣಕ್ಕೆ ಕಾಣಬಹುದು (ಚಿತ್ರ 1 ಎ); ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಅಳತೆಗಳನ್ನು ದೃ was ಪಡಿಸಲಾಯಿತು (ಚಿತ್ರ 1 ಬಿ, ಸಿ). ಪ್ರಕಾಶಮಾನವಾದ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಕಂಡುಬರುವ ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಒಂದು ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ರಾಮನ್ ವರ್ಣಪಟಲವನ್ನು ಚಿತ್ರ 1 ಬಿ ಯಲ್ಲಿ ಕೆಂಪು, ನೀಲಿ ಮತ್ತು ಕಿತ್ತಳೆ ಬಾಣಗಳಿಂದ ಸೂಚಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದನ್ನು ಚಿತ್ರ 1 ಸಿ ಯಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಜಿ (1683 ಸೆಂ - 1) ಮತ್ತು 2 ಡಿ (2696 ಸೆಂ - 1) ನ ವಿಶಿಷ್ಟ ರಾಮನ್ ಶಿಖರಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಫಟಿಕದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ (ಚಿತ್ರ 1 ಸಿ, ಟೇಬಲ್ ಎಸ್‌ಐ 1) ನ ಬೆಳವಣಿಗೆಯನ್ನು ದೃ irm ಪಡಿಸುತ್ತವೆ. ಚಿತ್ರದುದ್ದಕ್ಕೂ, ತೀವ್ರತೆಯ ಅನುಪಾತ (ಐ 2 ಡಿ/ಐಜಿ) ~ 0.3 ರೊಂದಿಗೆ ರಾಮನ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಾದ ಪ್ರಾಬಲ್ಯವನ್ನು ಗಮನಿಸಿದರೆ, ಐ 2 ಡಿ/ಐಜಿ = 0.8 ರೊಂದಿಗೆ ರಾಮನ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಾವನ್ನು ವಿರಳವಾಗಿ ಗಮನಿಸಲಾಗಿದೆ. ಇಡೀ ಚಿತ್ರದಲ್ಲಿ ದೋಷಯುಕ್ತ ಶಿಖರಗಳ (ಡಿ = 1350 ಸೆಂ -1) ಅನುಪಸ್ಥಿತಿಯು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮಾದರಿಯಲ್ಲಿ ಇದೇ ರೀತಿಯ ರಾಮನ್ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಲಾಗಿದೆ (ಚಿತ್ರ ಎಸ್‌ಐ 1 ಎ ಮತ್ತು ಬಿ, ಟೇಬಲ್ ಎಸ್‌ಐ 1).
ನಿಯಾಗ್ ಎಫ್ಎಸ್- ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್ಜಿಎಫ್ನ ಹೋಲಿಕೆ: ವಿಭಿನ್ನ ವರ್ಧನೆಗಳಲ್ಲಿನ ಎಫ್‌ಎಸ್ -ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ನಿ, (ಇ, ಜಿ) ಎಸ್‌ಇಎಂ ಚಿತ್ರಗಳಲ್ಲಿನ ವರ್ಧನೆಗಳು ಬಿಎಸ್ -ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎನ್ಐ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿಸುತ್ತದೆ. ನೀಲಿ ಬಾಣವು ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ, ಕಿತ್ತಳೆ ಬಾಣವು ಎಂಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು (ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶದ ಹತ್ತಿರ) ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ, ಕೆಂಪು ಬಾಣವು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಕೆನ್ನೇರಳೆ ಬಾಣವು ಪಟ್ಟು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ.
ಬೆಳವಣಿಗೆಯು ಆರಂಭಿಕ ತಲಾಧಾರ, ಸ್ಫಟಿಕದ ಗಾತ್ರ, ದೃಷ್ಟಿಕೋನ ಮತ್ತು ಧಾನ್ಯದ ಗಡಿಗಳ ದಪ್ಪವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುವುದರಿಂದ, ದೊಡ್ಡ ಪ್ರದೇಶಗಳ ಮೇಲೆ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ದಪ್ಪದ ಸಮಂಜಸವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಸಾಧಿಸುವುದು ಸವಾಲಾಗಿ ಉಳಿದಿದೆ. ಈ ಅಧ್ಯಯನವು ನಾವು ಈ ಹಿಂದೆ ಪ್ರಕಟಿಸಿದ ವಿಷಯವನ್ನು ಬಳಸಿದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು 100 µm230 ಕ್ಕೆ 0.1 ರಿಂದ 3% ಪ್ರಕಾಶಮಾನವಾದ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ. ಮುಂದಿನ ವಿಭಾಗಗಳಲ್ಲಿ, ನಾವು ಎರಡೂ ರೀತಿಯ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಗೆ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಪ್ರಸ್ತುತಪಡಿಸುತ್ತೇವೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ವರ್ಧಕ ಎಸ್‌ಇಎಂ ಚಿತ್ರಗಳು ಎರಡೂ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿ ಹಲವಾರು ಪ್ರಕಾಶಮಾನವಾದ ಕಾಂಟ್ರಾಸ್ಟ್ ಪ್ರದೇಶಗಳ ಉಪಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತವೆ (ಚಿತ್ರ 1 ಎಫ್, ಜಿ), ಇದು ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಮತ್ತು ಎಂಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶಗಳ ಉಪಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ 30,45. ರಾಮನ್ ಸ್ಕ್ಯಾಟರಿಂಗ್ (ಚಿತ್ರ 1 ಸಿ) ಮತ್ತು ಟಿಇಎಂ ಫಲಿತಾಂಶಗಳಿಂದ ಇದನ್ನು ದೃ confirmed ಪಡಿಸಲಾಗಿದೆ (ನಂತರ “ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್: ರಚನೆ ಮತ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು” ವಿಭಾಗದಲ್ಲಿ ಚರ್ಚಿಸಲಾಗಿದೆ). ಎಫ್‌ಎಸ್- ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎನ್ಐ ಮಾದರಿಗಳಲ್ಲಿ ಕಂಡುಬರುವ ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಮತ್ತು ಎಂಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶಗಳು (ಎನ್‌ಐ ಮೇಲೆ ಬೆಳೆದ ಮುಂಭಾಗ ಮತ್ತು ಹಿಂಭಾಗ) ಪೂರ್ವಭಾವಿ 22,30,45 ಸಮಯದಲ್ಲಿ ರೂಪುಗೊಂಡ ದೊಡ್ಡ ನಿ (111) ಧಾನ್ಯಗಳ ಮೇಲೆ ಬೆಳೆದಿರಬಹುದು. ಎರಡೂ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿ ಮಡಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಗಮನಿಸಲಾಗಿದೆ (ಚಿತ್ರ 1 ಬಿ, ನೇರಳೆ ಬಾಣಗಳಿಂದ ಗುರುತಿಸಲಾಗಿದೆ). ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಮತ್ತು ನಿಕಲ್ ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್ 30,38 ನಡುವಿನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕದಲ್ಲಿನ ದೊಡ್ಡ ವ್ಯತ್ಯಾಸದಿಂದಾಗಿ ಈ ಮಡಿಕೆಗಳು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಸಿವಿಡಿ-ಬೆಳೆದ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಮತ್ತು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಕಂಡುಬರುತ್ತವೆ.
ಎಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮಾದರಿ ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮಾದರಿ (ಚಿತ್ರ ಎಸ್‌ಐ 1) (ಚಿತ್ರ ಎಸ್‌ಐ 2) ಗಿಂತ ವಿಸ್ತಾರವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಎಎಫ್‌ಎಂ ಚಿತ್ರವು ದೃ confirmed ಪಡಿಸಿದೆ. ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ನಿ (ಅಂಜೂರ. ಎಸ್‌ಐ 2 ಸಿ) ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ನಿ (ಅಂಜೂರ. ಎಸ್‌ಐ 2 ಡಿ) ಯ ರೂಟ್ ಮೀನ್ ಸ್ಕ್ವೇರ್ (ಆರ್‌ಎಂಎಸ್) ಒರಟುತನ ಮೌಲ್ಯಗಳು ಕ್ರಮವಾಗಿ 82 ಮತ್ತು 200 ಎನ್‌ಎಂ (20 × 20 μm2 ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ). ಸ್ವೀಕರಿಸಿದ ಸ್ಥಿತಿಯಲ್ಲಿ (ಚಿತ್ರ SI3) ನಿಕಲ್ (NIAR) ಫಾಯಿಲ್ನ ಮೇಲ್ಮೈ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಒರಟುತನವನ್ನು ಅರ್ಥೈಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು. ಎಫ್‌ಎಸ್ ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಐಎಆರ್‌ನ ಎಸ್‌ಇಎಂ ಚಿತ್ರಗಳನ್ನು ಫಿಗರ್ಸ್ ಎಸ್‌ಐ 3 ಎ-ಡಿ ಯಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ, ಇದು ವಿಭಿನ್ನ ಮೇಲ್ಮೈ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನವನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ: ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್ಐ ಫಾಯಿಲ್ ನ್ಯಾನೊ ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರಾನ್-ಗಾತ್ರದ ಗೋಳಾಕಾರದ ಕಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಆದರೆ ಅಪ್ರಚಲಿತ ಬಿಎಸ್-ಎನ್ಐ ಫಾಯಿಲ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಏಣಿಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಕಣಗಳಾಗಿ. ಮತ್ತು ಅವನತಿ. ಅನೆಲ್ಡ್ ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ (ಎನ್ಐಎ) ಯ ಕಡಿಮೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಚಿತ್ರಗಳನ್ನು ಚಿತ್ರ SI3E -H ನಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಈ ಅಂಕಿಅಂಶಗಳಲ್ಲಿ, ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ನ ಎರಡೂ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿ ಹಲವಾರು ಮೈಕ್ರಾನ್-ಗಾತ್ರದ ನಿಕಲ್ ಕಣಗಳ ಉಪಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ನಾವು ಗಮನಿಸಬಹುದು (ಅಂಜೂರ. Si3e-H). ದೊಡ್ಡ ಧಾನ್ಯಗಳು ಎನ್ಐ (111) ಮೇಲ್ಮೈ ದೃಷ್ಟಿಕೋನವನ್ನು ಹೊಂದಿರಬಹುದು, ಈ ಹಿಂದೆ ವರದಿ ಮಾಡಿದಂತೆ 30,46. ಎಫ್ಎಸ್-ಎನ್ಐಎ ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್ಐಎ ನಡುವೆ ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ ಗಮನಾರ್ಹ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳಿವೆ. ಬಿಎಸ್-ಎನ್ಜಿಎಫ್/ಎನ್ಐನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಒರಟುತನವು ಬಿಎಸ್-ಎನ್ಐಎಆರ್ನ ಅಪ್ರಚೋದಿತ ಮೇಲ್ಮೈಯಿಂದಾಗಿ, ಇದರ ಮೇಲ್ಮೈ ಅನೆಲಿಂಗ್ ನಂತರವೂ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಒರಟಾಗಿ ಉಳಿದಿದೆ (ಚಿತ್ರ ಎಸ್ಐ 3). ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೊದಲು ಈ ರೀತಿಯ ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಮತ್ತು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ ಒರಟುತನವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮೂಲ ತಲಾಧಾರವು ಕೆಲವು ಧಾನ್ಯ ಮರುಸಂಘಟನೆಗೆ ಒಳಗಾಯಿತು ಎಂದು ಗಮನಿಸಬೇಕು, ಇದು ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರವನ್ನು ಸ್ವಲ್ಪ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅನೆಲ್ಡ್ ಫಾಯಿಲ್ ಮತ್ತು ವೇಗವರ್ಧಕ ಫಿಲ್ಮ್ 22 ಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವನ್ನು ಸ್ವಲ್ಪಮಟ್ಟಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿಸಿತು.
ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ, ಅನೆಲಿಂಗ್ ಸಮಯ (ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರ) 30,47 ಮತ್ತು ಬಿಡುಗಡೆ ಕಂಟ್ರೋಲ್ 43 ಪ್ರಾದೇಶಿಕ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ದಪ್ಪದ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು µm2 ಮತ್ತು/ಅಥವಾ ಎನ್‌ಎಂ 2 ಸ್ಕೇಲ್‌ಗೆ (ಅಂದರೆ, ಕೆಲವು ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್‌ಗಳ ದಪ್ಪ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳು) ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು, ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಉಂಟಾಗುವ ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ನ ವಿದ್ಯುದ್ವಿಚ್ plo ೇದ್ಯ ಹೊಳಪಿನಂತಹ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು 48 ಎಂದು ಪರಿಗಣಿಸಬಹುದು. ಪೂರ್ವಭಾವಿ ಸಂಸ್ಕರಿಸಿದ ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ ಅನ್ನು ದೊಡ್ಡ ಎನ್ಐ (111) ಧಾನ್ಯಗಳ ರಚನೆಯನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಕಡಿಮೆ ತಾಪಮಾನ (<900 ° C) 46 ಮತ್ತು ಸಮಯ (<5 ನಿಮಿಷ) ದಲ್ಲಿ ಅನೆಲ್ ಮಾಡಬಹುದು (ಇದು ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಪ್ರಯೋಜನಕಾರಿಯಾಗಿದೆ).
ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಮತ್ತು ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್‌ಗೆ ಆಮ್ಲಗಳು ಮತ್ತು ನೀರಿನ ಮೇಲ್ಮೈ ಒತ್ತಡವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗುತ್ತಿಲ್ಲ, ಆರ್ದ್ರ ರಾಸಾಯನಿಕ ವರ್ಗಾವಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಬೆಂಬಲ ಪದರಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ 22,34,38. ಪಾಲಿಮರ್-ಬೆಂಬಲಿತ ಏಕ-ಪದರದ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ 38 ರ ಆರ್ದ್ರ ರಾಸಾಯನಿಕ ವರ್ಗಾವಣೆಗೆ ವ್ಯತಿರಿಕ್ತವಾಗಿ, ಚಿತ್ರ 2 ಎ ಯಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ, ಬೆಳೆದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಎರಡೂ ಬದಿಗಳನ್ನು ಪಾಲಿಮರ್ ಬೆಂಬಲವಿಲ್ಲದೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಬಹುದು ಎಂದು ನಾವು ಕಂಡುಕೊಂಡಿದ್ದೇವೆ (ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿವರಗಳಿಗಾಗಿ ಫಿಗರ್ ಎಸ್‌ಐ 4 ಎ ನೋಡಿ). ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ತಲಾಧಾರಕ್ಕೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಿ ಆಧಾರವಾಗಿರುವ NI30.49 ಫಿಲ್ಮ್‌ನ ಆರ್ದ್ರ ಎಚ್ಚಣೆಯಿಂದ ಪ್ರಾರಂಭವಾಗುತ್ತದೆ. ಬೆಳೆದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ನಿ/ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ರಾತ್ರಿಯಿಡೀ 15 ಎಂಎಲ್‌ನಲ್ಲಿ 70% ಎಚ್‌ಎನ್‌ಒ 3 ನಲ್ಲಿ 600 ಎಂಎಲ್ ಡಯೋನೈಸ್ಡ್ (ಡಿ) ನೀರಿನಿಂದ ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸಲಾಯಿತು. ನಿ ಫಾಯಿಲ್ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಕರಗಿದ ನಂತರ, ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಸಮತಟ್ಟಾಗಿ ಉಳಿದಿದೆ ಮತ್ತು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ನಿ/ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮಾದರಿಯಂತೆಯೇ ದ್ರವದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ತೇಲುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ನೀರಿನಲ್ಲಿ ಮುಳುಗುತ್ತದೆ (ಚಿತ್ರ 2 ಎ, ಬಿ). ಪ್ರತ್ಯೇಕವಾದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಅನ್ನು ನಂತರ ತಾಜಾ ಡಯೋನೈಸ್ಡ್ ನೀರನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಒಂದು ಬೀಕರ್‌ನಿಂದ ಮತ್ತೊಂದು ಬೀಕರ್‌ಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಲಾಯಿತು ಮತ್ತು ಪ್ರತ್ಯೇಕವಾದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಅನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ತೊಳೆದು, ಕಾನ್ಕೇವ್ ಗ್ಲಾಸ್ ಖಾದ್ಯದ ಮೂಲಕ ನಾಲ್ಕರಿಂದ ಆರು ಬಾರಿ ಪುನರಾವರ್ತಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅಂತಿಮವಾಗಿ, ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಅನ್ನು ಅಪೇಕ್ಷಿತ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಇರಿಸಲಾಯಿತು (ಚಿತ್ರ 2 ಸಿ).
ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ನಲ್ಲಿ ಬೆಳೆದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗಾಗಿ ಪಾಲಿಮರ್-ಮುಕ್ತ ಆರ್ದ್ರ ರಾಸಾಯನಿಕ ವರ್ಗಾವಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ: (ಎ) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹರಿವಿನ ರೇಖಾಚಿತ್ರ (ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿವರಗಳಿಗಾಗಿ ಫಿಗರ್ ಎಸ್‌ಐ 4 ನೋಡಿ), ಪ್ಯಾನಲ್ ಡಿ ಯಂತೆಯೇ ಅದೇ ಮಾದರಿಯಿಂದ (ಎರಡು ಭಾಗಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಲಾಗಿದೆ), ಚಿನ್ನದ ಲೇಪಿತ ಸಿ ಪೇಪರ್ ಮತ್ತು ನಾಫಿಯಾನ್ (ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಪಾರದರ್ಶಕ ತಲಾಧಾರ, ಕೆಂಪು ಮೂಲೆಗಳಿಂದ ಗುರುತಿಸಲಾದ ಅಂಚುಗಳು) ಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಲಾಗಿದೆ.
ಆರ್ದ್ರ ರಾಸಾಯನಿಕ ವರ್ಗಾವಣೆ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ನಡೆಸಿದ ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ವರ್ಗಾವಣೆಗೆ ಒಟ್ಟು 20-24 ಗಂಟೆಗಳ 38 ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಮಯ ಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ ಎಂಬುದನ್ನು ಗಮನಿಸಿ. ಪಾಲಿಮರ್-ಮುಕ್ತ ವರ್ಗಾವಣೆ ತಂತ್ರವನ್ನು ಇಲ್ಲಿ ಪ್ರದರ್ಶಿಸುವುದರೊಂದಿಗೆ (ಫಿಗರ್ ಎಸ್‌ಐ 4 ಎ), ಒಟ್ಟಾರೆ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಮಯವು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ (ಸುಮಾರು 15 ಗಂಟೆಗಳು). ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಇವುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ: (ಹಂತ 1) ಎಚ್ಚಣೆ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ತಯಾರಿಸಿ ಮತ್ತು ಅದರಲ್ಲಿ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಇರಿಸಿ (~ 10 ನಿಮಿಷಗಳು), ನಂತರ ನಿ ಎಚ್ಚಣೆ (~ 7200 ನಿಮಿಷಗಳು), (ಹಂತ 2) ಡಯೋನೈಸ್ಡ್ ನೀರಿನಿಂದ ತೊಳೆಯಿರಿ (ಹಂತ - 3). ಡಯೋನೈಸ್ಡ್ ನೀರಿನಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಿ ಅಥವಾ ಟಾರ್ಗೆಟ್ ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್ (20 ನಿಮಿಷ) ಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಿ. ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮತ್ತು ಬೃಹತ್ ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ ನಡುವೆ ಸಿಕ್ಕಿಬಿದ್ದ ನೀರನ್ನು ಕ್ಯಾಪಿಲ್ಲರಿ ಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ತೆಗೆದುಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ (ಬ್ಲಾಟಿಂಗ್ ಪೇಪರ್ ಬಳಸಿ) 38, ನಂತರ ಉಳಿದ ನೀರಿನ ಹನಿಗಳನ್ನು ನೈಸರ್ಗಿಕ ಒಣಗಿಸುವಿಕೆಯಿಂದ ತೆಗೆದುಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ (ಸರಿಸುಮಾರು 30 ನಿಮಿಷ), ಮತ್ತು ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಮಾದರಿಯನ್ನು 10 ನಿಮಿಷ ಒಣಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. 50-90 ° C (60 ನಿಮಿಷ) 38 ರಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತ ಒಲೆಯಲ್ಲಿ (10–1 Mbar) ನಿಮಿಷ.
ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ನೀರು ಮತ್ತು ಗಾಳಿಯ ಉಪಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಸಾಕಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ (≥ 200 ° C) 50,51,52 ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಎಂದು ತಿಳಿದುಬಂದಿದೆ. ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಲ್ಲಿ ಡಯೋನೈಸ್ಡ್ ನೀರಿನಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ಕೆಲವು ದಿನಗಳಿಂದ ಒಂದು ವರ್ಷದವರೆಗೆ ಎಲ್ಲಿಯಾದರೂ ಮೊಹರು ಮಾಡಿದ ಬಾಟಲಿಗಳಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಿದ ನಂತರ ರಾಮನ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ, ಎಸ್‌ಇಎಂ ಮತ್ತು ಎಕ್ಸ್‌ಆರ್‌ಡಿ ಬಳಸುವ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ನಾವು ಪರೀಕ್ಷಿಸಿದ್ದೇವೆ (ಚಿತ್ರ ಎಸ್‌ಐ 4). ಗಮನಾರ್ಹ ಅವನತಿ ಇಲ್ಲ. ಚಿತ್ರ 2 ಸಿ ಡಯೋನೈಸ್ಡ್ ನೀರಿನಲ್ಲಿ ಮುಕ್ತ-ನಿಂತಿರುವ ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಅನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. ಚಿತ್ರ 2 ಸಿ ಯ ಆರಂಭದಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ ನಾವು ಅವುಗಳನ್ನು SIO2 (300 nm)/Si ತಲಾಧಾರದಲ್ಲಿ ಸೆರೆಹಿಡಿದಿದ್ದೇವೆ. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಚಿತ್ರ 2 ಡಿ, ಇ ಯಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ, ನಿರಂತರ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಅನ್ನು ಪಾಲಿಮರ್‌ಗಳು (ನೆಕ್ಸೊಲ್ವ್ ಮತ್ತು ನಾಫಿಯಾನ್‌ನಿಂದ ಥರ್ಮಾಬ್ರೈಟ್ ಪಾಲಿಮೈಡ್) ಮತ್ತು ಚಿನ್ನದ ಲೇಪಿತ ಇಂಗಾಲದ ಕಾಗದದಂತಹ ವಿವಿಧ ತಲಾಧಾರಗಳಿಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಬಹುದು. ತೇಲುವ ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಅನ್ನು ಗುರಿ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಸುಲಭವಾಗಿ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ (ಚಿತ್ರ 2 ಸಿ, ಡಿ). ಆದಾಗ್ಯೂ, ನೀರಿನಲ್ಲಿ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಮುಳುಗಿದಾಗ 3 ಸೆಂ 2 ಗಿಂತ ದೊಡ್ಡದಾದ ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ನಿಭಾಯಿಸುವುದು ಕಷ್ಟಕರವಾಗಿತ್ತು. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಅವರು ನೀರಿನಲ್ಲಿ ಉರುಳಲು ಪ್ರಾರಂಭಿಸಿದಾಗ, ಅಸಡ್ಡೆ ನಿರ್ವಹಣೆಯಿಂದಾಗಿ ಅವು ಕೆಲವೊಮ್ಮೆ ಎರಡು ಅಥವಾ ಮೂರು ಭಾಗಗಳಾಗಿ ಒಡೆಯುತ್ತವೆ (ಚಿತ್ರ 2 ಇ). ಒಟ್ಟಾರೆಯಾಗಿ, ಪಿಎಸ್- ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಪಾಲಿಮರ್-ಮುಕ್ತ ವರ್ಗಾವಣೆಯನ್ನು ನಾವು ಕ್ರಮವಾಗಿ 6 ​​ಮತ್ತು 3 ಸೆಂ 2 ವರೆಗಿನ ಮಾದರಿಗಳಿಗಾಗಿ ಪಿಎಸ್- ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ (ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ನಿ/ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯಿಲ್ಲದೆ ನಿರಂತರ ತಡೆರಹಿತ ವರ್ಗಾವಣೆ) ಸಾಧಿಸಲು ಸಾಧ್ಯವಾಯಿತು. ಅಪೇಕ್ಷಿತ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ (~ 1 ಮಿಮೀ 2, ಫಿಗರ್ ಎಸ್‌ಐ 4 ಬಿ, “ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್: ರಚನೆ ಮತ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು (ಚರ್ಚಿಸಲಾಗಿದೆ)“ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ”ಅಥವಾ“ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ”ಅಥವಾ ಭವಿಷ್ಯದ ಬಳಕೆಗಾಗಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಿ (ಫಿಗರ್ ಸಿ 4) ರನ್ನು ಆಧರಿಸಿ (ಫಿಗರ್ ಸಿ 4) ಆಧರಿಸಿ, ಆಧರಿಸಿ, ಆಧರಿಸಿ, ಆಧರಿಸಿ, ಆಧರಿಸಿ, ಆಧರಿಸಿ, ಆಧರಿಸಿ, ಆಧರಿಸಿ, ಈಡಿಮೇಡ್ ಅನ್ನು ನೋಡಿ. 98-99% (ವರ್ಗಾವಣೆಯ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ನಂತರ).
ಪಾಲಿಮರ್ ಇಲ್ಲದ ವರ್ಗಾವಣೆ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ವಿವರವಾಗಿ ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಲಾಗಿದೆ. ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ (ಒಎಂ) ಮತ್ತು ಎಸ್‌ಇಎಂ ಚಿತ್ರಗಳನ್ನು (ಅಂಜೂರ. ಎಸ್‌ಐ 5 ಮತ್ತು ಅಂಜೂರ 3) ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಎಫ್‌ಎಸ್- ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎಸ್‌ಐಒ 2/ಎಸ್‌ಐ (ಚಿತ್ರ 2 ಸಿ) ನಲ್ಲಿ ಪಡೆದ ಮೇಲ್ಮೈ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಈ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ ಇಲ್ಲದೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಂದು ತೋರಿಸಿದೆ. ಬಿರುಕುಗಳು, ರಂಧ್ರಗಳು ಅಥವಾ ಅನಿಯಂತ್ರಿತ ಪ್ರದೇಶಗಳಂತಹ ಗೋಚರ ರಚನಾತ್ಮಕ ಹಾನಿ. ಬೆಳೆಯುತ್ತಿರುವ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನಲ್ಲಿನ ಮಡಿಕೆಗಳು (ಚಿತ್ರ 3 ಬಿ, ಡಿ, ನೇರಳೆ ಬಾಣಗಳಿಂದ ಗುರುತಿಸಲಾಗಿದೆ) ವರ್ಗಾವಣೆಯ ನಂತರ ಹಾಗೇ ಉಳಿದಿವೆ. ಎಫ್‌ಎಸ್- ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗಳು ಎರಡೂ ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಂದ ಕೂಡಿದೆ (ಚಿತ್ರ 3 ರಲ್ಲಿ ನೀಲಿ ಬಾಣಗಳಿಂದ ಸೂಚಿಸಲಾದ ಪ್ರಕಾಶಮಾನವಾದ ಪ್ರದೇಶಗಳು). ಆಶ್ಚರ್ಯಕರವಾಗಿ, ಅಲ್ಟ್ರಾಥಿನ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ ಪಾಲಿಮರ್ ವರ್ಗಾವಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕಂಡುಬರುವ ಕೆಲವು ಹಾನಿಗೊಳಗಾದ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಗೆ ವ್ಯತಿರಿಕ್ತವಾಗಿ, ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗೆ ಸಂಪರ್ಕಿಸುವ ಹಲವಾರು ಮೈಕ್ರಾನ್-ಗಾತ್ರದ ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಮತ್ತು ಎಂಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು (ಚಿತ್ರ 3 ಡಿ ಯಲ್ಲಿ ನೀಲಿ ಬಾಣಗಳಿಂದ ಗುರುತಿಸಲಾಗಿದೆ) ಬಿರುಕುಗಳು ಅಥವಾ ವಿರಾಮಗಳಿಲ್ಲದೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಲಾಯಿತು (ಚಿತ್ರ 3 ಡಿ). 3). . ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಟಿಇಎಂ ಮತ್ತು ಎಸ್‌ಇಎಂ ಚಿತ್ರಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ದೃ was ಪಡಿಸಲಾಯಿತು, ನಂತರ ಚರ್ಚಿಸಿದಂತೆ (“ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್: ರಚನೆ ಮತ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು”). ವರ್ಗಾವಣೆಗೊಂಡ ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎಸ್‌ಐಒ 2/ಎಸ್‌ಐ ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎಸ್‌ಐಒ 2/ಎಸ್‌ಐಗಿಂತ ಕ್ರಮವಾಗಿ 140 ಎನ್‌ಎಂ ಮತ್ತು 17 ಎನ್‌ಎಂ ಆರ್‌ಎಂಎಸ್ ಮೌಲ್ಯಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಚಿತ್ರ ಎಸ್‌ಐ 6 ಎ ಮತ್ತು ಬಿ (20 × 20 μm2) ನಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ. ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಆರ್‌ಎಂಎಸ್ ಮೌಲ್ಯವು ಎಸ್‌ಐಒ 2/ಎಸ್‌ಐ ತಲಾಧಾರಕ್ಕೆ (ಆರ್‌ಎಂಎಸ್ <2 ಎನ್‌ಎಂ) ವರ್ಗಾವಣೆಗೊಂಡ ಎನ್‌ಐ (ಫಿಗರ್ ಎಸ್‌ಐ 2) ನಲ್ಲಿ ಬೆಳೆದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗಿಂತ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ (ಸುಮಾರು 3 ಪಟ್ಟು), ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಒರಟುತನವು ಎನ್‌ಐ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗಬಹುದು ಎಂದು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಇದರ ಜೊತೆಯಲ್ಲಿ, ಎಫ್‌ಎಸ್- ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎಸ್‌ಐಒ 2/ಎಸ್‌ಐ ಮಾದರಿಗಳ ಅಂಚುಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರದರ್ಶಿಸಲಾದ ಎಎಫ್‌ಎಂ ಚಿತ್ರಗಳು ಕ್ರಮವಾಗಿ 100 ಮತ್ತು 80 ಎನ್‌ಎಂ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ತೋರಿಸಿದವು (ಅಂಜೂರ. ಎಸ್‌ಐ 7). ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಸಣ್ಣ ದಪ್ಪವು ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಪೂರ್ವಗಾಮಿ ಅನಿಲಕ್ಕೆ ನೇರವಾಗಿ ಒಡ್ಡಿಕೊಳ್ಳದ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿರಬಹುದು.
SIO2/SI WAFER ನಲ್ಲಿ ಪಾಲಿಮರ್ ಇಲ್ಲದೆ ವರ್ಗಾವಣೆಗೊಂಡ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ (NIAG) (ಚಿತ್ರ 2 ಸಿ ನೋಡಿ): (ಎ, ಬಿ) ವರ್ಗಾವಣೆಗೊಂಡ ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಎಸ್‌ಇಎಂ ಚಿತ್ರಗಳು: ಕಡಿಮೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ವರ್ಧನೆ (ಫಲಕದಲ್ಲಿನ ಕಿತ್ತಳೆ ಚೌಕಕ್ಕೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿರುತ್ತದೆ). ವಿಶಿಷ್ಟ ಪ್ರದೇಶಗಳು) - ಎ). . (ಇ, ಎಫ್) ವರ್ಗಾವಣೆಗೊಂಡ ಎಫ್‌ಎಸ್- ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗಳ ಎಎಫ್‌ಎಂ ಚಿತ್ರಗಳು. ನೀಲಿ ಬಾಣವು ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಪ್ರತಿನಿಧಿಸುತ್ತದೆ - ಪ್ರಕಾಶಮಾನವಾದ ಕಾಂಟ್ರಾಸ್ಟ್, ಸಯಾನ್ ಬಾಣ - ಕಪ್ಪು ಎಂಎಲ್‌ಜಿ ಕಾಂಟ್ರಾಸ್ಟ್, ಕೆಂಪು ಬಾಣ - ಕಪ್ಪು ವ್ಯತಿರಿಕ್ತತೆಯು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಪ್ರತಿನಿಧಿಸುತ್ತದೆ, ಕೆನ್ನೇರಳೆ ಬಾಣವು ಪಟ್ಟು ಪ್ರತಿನಿಧಿಸುತ್ತದೆ.
ಬೆಳೆದ ಮತ್ತು ವರ್ಗಾವಣೆಗೊಂಡ ಎಫ್‌ಎಸ್- ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗಳ ರಾಸಾಯನಿಕ ಸಂಯೋಜನೆಯನ್ನು ಎಕ್ಸರೆ ಫೋಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ (ಎಕ್ಸ್‌ಪಿಎಸ್) (ಚಿತ್ರ 4) ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಿದೆ. ಬೆಳೆದ ಎಫ್‌ಎಸ್- ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಎಸ್ (ಎನ್‌ಐಎಜಿ) ನ ಎನ್ಐ ತಲಾಧಾರಕ್ಕೆ (850 ಇವಿ) ಅನುಗುಣವಾದ ಅಳತೆ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಾದಲ್ಲಿ (ಚಿತ್ರ 4 ಎ, ಬಿ) ದುರ್ಬಲ ಶಿಖರವನ್ನು ಗಮನಿಸಲಾಗಿದೆ. ವರ್ಗಾವಣೆಗೊಂಡ ಎಫ್‌ಎಸ್- ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎಸ್‌ಐಒ 2/ಎಸ್‌ಐನ ಅಳತೆ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಾದಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಶಿಖರಗಳಿಲ್ಲ (ಚಿತ್ರ 4 ಸಿ; ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎಸ್‌ಐಒ 2/ಎಸ್‌ಐಗೆ ಇದೇ ರೀತಿಯ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ತೋರಿಸಲಾಗಿಲ್ಲ), ವರ್ಗಾವಣೆಯ ನಂತರ ಯಾವುದೇ ಉಳಿದಿರುವ ಎನ್ಐ ಮಾಲಿನ್ಯವಿಲ್ಲ ಎಂದು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಅಂಕಿಅಂಶಗಳು 4 ಡಿ-ಎಫ್ ಸಿ 1 ಎಸ್, ಒ 1 ಎಸ್ ಮತ್ತು ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎಸ್‌ಐಒ 2/ಎಸ್‌ಐನ ಎಸ್‌ಐ 2 ಪಿ ಶಕ್ತಿಯ ಮಟ್ಟಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಾವನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್‌ನ ಸಿ 1 ಎಸ್ ನ ಬಂಧಿಸುವ ಶಕ್ತಿಯು 284.4 ಇವಿ 53.54 ಆಗಿದೆ. ಚಿತ್ರ 4 ಡಿ 54 ರಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಶಿಖರಗಳ ರೇಖೀಯ ಆಕಾರವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅಸಮಪಾರ್ಶ್ವವೆಂದು ಪರಿಗಣಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಕೋರ್-ಲೆವೆಲ್ ಸಿ 1 ಎಸ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಮ್ (ಚಿತ್ರ 4 ಡಿ) ಸಹ ಶುದ್ಧ ವರ್ಗಾವಣೆಯನ್ನು ದೃ confirmed ಪಡಿಸಿದೆ (ಅಂದರೆ, ಪಾಲಿಮರ್ ಅವಶೇಷಗಳಿಲ್ಲ), ಇದು ಹಿಂದಿನ ಅಧ್ಯಯನಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಹೊಸದಾಗಿ ಬೆಳೆದ ಮಾದರಿ (ಎನ್‌ಐಎಜಿ) ಮತ್ತು ವರ್ಗಾವಣೆಯ ನಂತರ ಸಿ 1 ಎಸ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಾದ ಲೈನ್‌ವಿಡ್ತ್‌ಗಳು ಕ್ರಮವಾಗಿ 0.55 ಮತ್ತು 0.62 ಇವಿ. ಈ ಮೌಲ್ಯಗಳು ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಜಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ (ಎಸ್‌ಐಒ 2 ತಲಾಧಾರದಲ್ಲಿ ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಜಿಗೆ 0.49 ಇವಿ) 38. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಈ ಮೌಲ್ಯಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಆಧಾರಿತ ಪೈರೋಲಿಟಿಕ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಮಾದರಿಗಳಿಗೆ (~ 0.75 ಇವಿ) 53,54,55 ಗಾಗಿ ಈ ಹಿಂದೆ ವರದಿಯಾದ ಲೈನ್‌ವಿಡ್ತ್‌ಗಳಿಗಿಂತ ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದೆ, ಇದು ಪ್ರಸ್ತುತ ವಸ್ತುವಿನಲ್ಲಿ ದೋಷಯುಕ್ತ ಇಂಗಾಲದ ತಾಣಗಳ ಅನುಪಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಸಿ 1 ಎಸ್ ಮತ್ತು ಒ 1 ಎಸ್ ನೆಲದ ಮಟ್ಟದ ವರ್ಣಪಟಲವು ಭುಜಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವುದಿಲ್ಲ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಗರಿಷ್ಠ ಡಿಕಾನ್ವೊಲ್ಯೂಷನ್ 54 ರ ಅಗತ್ಯವನ್ನು ನಿವಾರಿಸುತ್ತದೆ. 291.1 ಇವಿ ಸುಮಾರು π → π* ಉಪಗ್ರಹ ಶಿಖರವಿದೆ, ಇದನ್ನು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಮಾದರಿಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಗಮನಿಸಬಹುದು. ಎಸ್‌ಐ 2 ಪಿ ಮತ್ತು ಒ 1 ಎಸ್ ಕೋರ್ ಲೆವೆಲ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಾದಲ್ಲಿ 103 ಇವಿ ಮತ್ತು 532.5 ಇವಿ ಸಂಕೇತಗಳು ಕ್ರಮವಾಗಿ ಎಸ್‌ಐಒ 2 56 ತಲಾಧಾರಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಿವೆ. ಎಕ್ಸ್‌ಪಿಎಸ್ ಒಂದು ಮೇಲ್ಮೈ-ಸೂಕ್ಷ್ಮ ತಂತ್ರವಾಗಿದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ವರ್ಗಾವಣೆಯ ಮೊದಲು ಮತ್ತು ನಂತರ ಕ್ರಮವಾಗಿ ಮತ್ತು ನಂತರ ಪತ್ತೆಯಾದ ಎನ್‌ಐ ಮತ್ತು ಎಸ್‌ಐಒ 2 ಗೆ ಅನುಗುಣವಾದ ಸಂಕೇತಗಳು ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶದಿಂದ ಹುಟ್ಟಿಕೊಂಡಿವೆ ಎಂದು ಭಾವಿಸಲಾಗಿದೆ. ವರ್ಗಾವಣೆಗೊಂಡ ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮಾದರಿಗಳಿಗೆ ಇದೇ ರೀತಿಯ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಗಮನಿಸಲಾಗಿದೆ (ತೋರಿಸಲಾಗಿಲ್ಲ).
ಎನ್ಐಎಜಿ ಎಕ್ಸ್‌ಪಿಎಸ್ ಫಲಿತಾಂಶಗಳು: (ಎಸಿ) ಬೆಳೆದ ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎನ್ಐ, ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ನಿ ಮತ್ತು ವರ್ಗಾವಣೆಗೊಂಡ ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎಸ್‌ಐಒ 2/ಎಸ್‌ಐನ ವಿಭಿನ್ನ ಧಾತುರೂಪದ ಪರಮಾಣು ಸಂಯೋಜನೆಗಳ ಸಮೀಕ್ಷೆ ವರ್ಣಪಟಲ. .
ವರ್ಗಾವಣೆಗೊಂಡ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಹರಳುಗಳ ಒಟ್ಟಾರೆ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಎಕ್ಸರೆ ವಿವರ್ತನೆ (ಎಕ್ಸ್‌ಆರ್‌ಡಿ) ಬಳಸಿ ನಿರ್ಣಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ವರ್ಗಾವಣೆಗೊಂಡ ಎಫ್‌ಎಸ್- ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎಸ್‌ಐಒ 2/ಎಸ್‌ಐನ ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಎಕ್ಸ್‌ಆರ್‌ಡಿ ಮಾದರಿಗಳು (ಅಂಜೂರ ಸಿ 8) ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್‌ಗೆ ಹೋಲುವ 26.6 ° ಮತ್ತು 54.7 at ನಲ್ಲಿ ವಿವರ್ತನೆಯ ಶಿಖರಗಳು (0 0 0 2) ಮತ್ತು (0 0 0 4) ಇರುವಿಕೆಯನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತವೆ. . ಇದು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಫಟಿಕದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ದೃ ms ಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಡಿ = 0.335 ಎನ್‌ಎಮ್‌ನ ಇಂಟರ್ಲೇಯರ್ ಅಂತರಕ್ಕೆ ಅನುರೂಪವಾಗಿದೆ, ಇದನ್ನು ವರ್ಗಾವಣೆ ಹಂತದ ನಂತರ ನಿರ್ವಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ವಿವರ್ತನೆಯ ಶಿಖರದ ತೀವ್ರತೆಯು (0 0 0 2) ವಿವರ್ತನೆಯ ಶಿಖರಕ್ಕಿಂತ (0 0 0 4) ಸರಿಸುಮಾರು 30 ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ, ಇದು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಮತಲವು ಮಾದರಿ ಮೇಲ್ಮೈಯೊಂದಿಗೆ ಉತ್ತಮವಾಗಿ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗಿದೆ ಎಂದು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ.
ಎಸ್‌ಇಎಂ, ರಾಮನ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ, ಎಕ್ಸ್‌ಪಿಎಸ್ ಮತ್ತು ಎಕ್ಸ್‌ಆರ್‌ಡಿ ಫಲಿತಾಂಶಗಳ ಪ್ರಕಾರ, ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎನ್‌ಐನ ಗುಣಮಟ್ಟವು ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎನ್‌ಐನಂತೆಯೇ ಇದೆ ಎಂದು ಕಂಡುಬಂದಿದೆ, ಆದರೂ ಅದರ ಆರ್ಎಂಎಸ್ ಒರಟುತನ ಸ್ವಲ್ಪ ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ (ಫಿಗರ್ಸ್ ಸಿ 2, ಸಿ 5) ಮತ್ತು ಸಿ 7).
ಪಾಲಿಮರ್ ಬೆಂಬಲ ಪದರಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಜಿಗಳು 200 ಎನ್‌ಎಂ ದಪ್ಪದವರೆಗೆ ನೀರಿನ ಮೇಲೆ ತೇಲುತ್ತವೆ. ಈ ಸೆಟಪ್ ಅನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪಾಲಿಮರ್ ನೆರವಿನ ಆರ್ದ್ರ ರಾಸಾಯನಿಕ ವರ್ಗಾವಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ 22,38. ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಮತ್ತು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಹೈಡ್ರೋಫೋಬಿಕ್ (ಆರ್ದ್ರ ಕೋನ 80-90 °) 57. ಮೇಲ್ಮೈ 58 ರಲ್ಲಿ ನೀರಿನ ಪಾರ್ಶ್ವ ಚಲನೆಗೆ ಕಡಿಮೆ ಸಂಭಾವ್ಯ ಶಕ್ತಿ (~ 1 ಕೆಜೆ/ಮೋಲ್) ​​ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಮತ್ತು ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಎರಡರ ಸಂಭಾವ್ಯ ಶಕ್ತಿಯ ಮೇಲ್ಮೈಗಳು ಸಾಕಷ್ಟು ಸಮತಟ್ಟಾಗಿದೆ ಎಂದು ವರದಿಯಾಗಿದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಮತ್ತು ಮೂರು ಪದರಗಳ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಹೊಂದಿರುವ ನೀರಿನ ಲೆಕ್ಕಾಚಾರದ ಪರಸ್ಪರ ಶಕ್ತಿಗಳು ಕ್ರಮವಾಗಿ - 13 ಮತ್ತು - 15 ಕೆಜೆ/ಮೋಲ್, 58, ಇದು ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್‌ಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ (ಸುಮಾರು 300 ಪದರಗಳು) ನೊಂದಿಗೆ ನೀರಿನ ಪರಸ್ಪರ ಕ್ರಿಯೆಯು ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ ಎಂದು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಫ್ರೀಸ್ಟ್ಯಾಂಡಿಂಗ್ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ನೀರಿನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಮತಟ್ಟಾಗಿರುವುದಕ್ಕೆ ಇದು ಒಂದು ಕಾರಣವಾಗಿರಬಹುದು, ಆದರೆ ಫ್ರೀಸ್ಟ್ಯಾಂಡಿಂಗ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ (ಇದು ನೀರಿನಲ್ಲಿ ತೇಲುತ್ತದೆ) ಸುರುಳಿಯಾಗಿ ಒಡೆಯುತ್ತದೆ. ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ನೀರಿನಲ್ಲಿ ಮುಳುಗಿದಾಗ (ಒರಟು ಮತ್ತು ಸಮತಟ್ಟಾದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗೆ ಫಲಿತಾಂಶಗಳು ಒಂದೇ ಆಗಿರುತ್ತವೆ), ಅದರ ಅಂಚುಗಳು ಬಾಗುತ್ತವೆ (ಚಿತ್ರ ಎಸ್‌ಐ 4). ಸಂಪೂರ್ಣ ಮುಳುಗಿಸುವಿಕೆಯ ಸಂದರ್ಭದಲ್ಲಿ, ಎನ್‌ಜಿಎಫ್-ನೀರಿನ ಸಂವಹನ ಶಕ್ತಿಯು ಬಹುತೇಕ ದ್ವಿಗುಣಗೊಂಡಿದೆ (ತೇಲುವ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ) ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂಪರ್ಕ ಕೋನವನ್ನು (ಹೈಡ್ರೋಫೋಬಿಸಿಟಿ) ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಪಟ್ಟು ಅಂಚುಗಳು ಎಂದು ನಿರೀಕ್ಷಿಸಲಾಗಿದೆ. ಎಂಬೆಡೆಡ್ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗಳ ಅಂಚುಗಳ ಕರ್ಲಿಂಗ್ ಅನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಬಹುದು ಎಂದು ನಾವು ನಂಬುತ್ತೇವೆ. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್ 59 ರ ತೇವಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಮಾಡ್ಯುಲೇಟ್‌ ಮಾಡಲು ಮಿಶ್ರ ದ್ರಾವಕಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಒಂದು ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ.
ಆರ್ದ್ರ ರಾಸಾಯನಿಕ ವರ್ಗಾವಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಮೂಲಕ ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಜಿಯನ್ನು ವಿವಿಧ ರೀತಿಯ ತಲಾಧಾರಗಳಿಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸುವುದು ಈ ಹಿಂದೆ ವರದಿಯಾಗಿದೆ. ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್/ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರಗಳ ನಡುವೆ ದುರ್ಬಲ ವ್ಯಾನ್ ಡೆರ್ ವಾಲ್ಸ್ ಪಡೆಗಳು ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿವೆ ಎಂದು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಒಪ್ಪಿಕೊಳ್ಳಲಾಗಿದೆ (ಇದು ಎಸ್‌ಐಒ 2/ಎಸ್‌ಐ 38,41,46,60, ಸಿಕ್ 38, ಎಯು 42, ಎಸ್‌ಐ ಸ್ತಂಭಗಳು 22 ಮತ್ತು ಲೇಸಿ ಕಾರ್ಬನ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು 30, 34 ಅಥವಾ ಪಾಲಿಮೈಡ್ 37) ನಂತಹ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ತಲಾಧಾರಗಳಂತಹ 34 ಅಥವಾ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ತಲಾಧಾರಗಳಾಗಿರಲಿ. ಒಂದೇ ರೀತಿಯ ಸಂವಹನಗಳು ಮೇಲುಗೈ ಸಾಧಿಸುತ್ತವೆ ಎಂದು ಇಲ್ಲಿ ನಾವು ume ಹಿಸುತ್ತೇವೆ. ಯಾಂತ್ರಿಕ ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ (ನಿರ್ವಾತ ಮತ್ತು/ಅಥವಾ ವಾತಾವರಣದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ಶೇಖರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಗುಣಲಕ್ಷಣದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ) (ಉದಾ., ಚಿತ್ರ 2, ಎಸ್‌ಐ 7 ಮತ್ತು ಎಸ್‌ಐ 9) ಇಲ್ಲಿ ಪ್ರಸ್ತುತಪಡಿಸಿದ ಯಾವುದೇ ತಲಾಧಾರಗಳಿಗೆ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಯಾವುದೇ ಹಾನಿ ಅಥವಾ ಸಿಪ್ಪೆಸುಲಿಯುವಿಕೆಯನ್ನು ನಾವು ಗಮನಿಸಲಿಲ್ಲ. ಇದಲ್ಲದೆ, ಎನ್‌ಜಿಎಫ್/ಎಸ್‌ಐಒ 2/ಎಸ್‌ಐ ಮಾದರಿಯ ಕೋರ್ ಮಟ್ಟದ ಎಕ್ಸ್‌ಪಿಎಸ್ ಸಿ 1 ಎಸ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಮ್‌ನಲ್ಲಿ ನಾವು ಎಸ್‌ಐಸಿ ಶಿಖರವನ್ನು ಗಮನಿಸಲಿಲ್ಲ (ಚಿತ್ರ 4). ಈ ಫಲಿತಾಂಶಗಳು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮತ್ತು ಗುರಿ ತಲಾಧಾರದ ನಡುವೆ ಯಾವುದೇ ರಾಸಾಯನಿಕ ಬಂಧವಿಲ್ಲ ಎಂದು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ.
ಹಿಂದಿನ ವಿಭಾಗದಲ್ಲಿ, “ಎಫ್‌ಎಸ್- ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಪಾಲಿಮರ್-ಮುಕ್ತ ವರ್ಗಾವಣೆ”, ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್‌ನ ಎರಡೂ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿ ಬೆಳೆಯಬಹುದು ಮತ್ತು ವರ್ಗಾಯಿಸಬಹುದು ಎಂದು ನಾವು ತೋರಿಸಿದ್ದೇವೆ. ಈ ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗಳು ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನದ ದೃಷ್ಟಿಯಿಂದ ಒಂದೇ ಆಗಿಲ್ಲ, ಇದು ಪ್ರತಿ ಪ್ರಕಾರಕ್ಕೂ ಹೆಚ್ಚು ಸೂಕ್ತವಾದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳನ್ನು ಅನ್ವೇಷಿಸಲು ಪ್ರೇರೇಪಿಸಿತು.
ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಪಾರದರ್ಶಕತೆ ಮತ್ತು ಸುಗಮ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಿ, ನಾವು ಅದರ ಸ್ಥಳೀಯ ರಚನೆ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ವಿವರವಾಗಿ ಅಧ್ಯಯನ ಮಾಡಿದ್ದೇವೆ. ಪಾಲಿಮರ್ ವರ್ಗಾವಣೆಯಿಲ್ಲದೆ ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ರಚನೆ ಮತ್ತು ರಚನೆಯನ್ನು ಪ್ರಸರಣ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ (ಟಿಇಎಂ) ಇಮೇಜಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಆಯ್ದ ಪ್ರದೇಶ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಡಿಫ್ರಾಕ್ಷನ್ (ಎಸ್‌ಎಇಡಿ) ಮಾದರಿಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯಿಂದ ನಿರೂಪಿಸಲಾಗಿದೆ. ಅನುಗುಣವಾದ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಚಿತ್ರ 5 ರಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಕಡಿಮೆ ವರ್ಧನೆ ಪ್ಲ್ಯಾನರ್ ಟೆಮ್ ಇಮೇಜಿಂಗ್ ಕ್ರಮವಾಗಿ ವಿಭಿನ್ನ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಾಂಟ್ರಾಸ್ಟ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮತ್ತು ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶಗಳ ಉಪಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಬಹಿರಂಗಪಡಿಸಿದೆ, ಅಂದರೆ ಗಾ er ವಾದ ಮತ್ತು ಪ್ರಕಾಶಮಾನವಾದ ಪ್ರದೇಶಗಳು ಕ್ರಮವಾಗಿ (ಚಿತ್ರ 5 ಎ). ಈ ಚಲನಚಿತ್ರವು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮತ್ತು ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿಯ ವಿವಿಧ ಪ್ರದೇಶಗಳ ನಡುವೆ ಉತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸಮಗ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ, ಉತ್ತಮ ಅತಿಕ್ರಮಣ ಮತ್ತು ಯಾವುದೇ ಹಾನಿ ಅಥವಾ ಹರಿದು ಹೋಗುವುದಿಲ್ಲ, ಇದನ್ನು ಎಸ್‌ಇಎಂ (ಚಿತ್ರ 3) ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ವರ್ಧಕ ಟಿಇಎಂ ಅಧ್ಯಯನಗಳು (ಚಿತ್ರ 5 ಸಿ-ಇ) ದೃ confirmed ಪಡಿಸಿದೆ. ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಅಂಜೂರದಲ್ಲಿ ಚಿತ್ರ 5 ಡಿ ಸೇತುವೆಯ ರಚನೆಯನ್ನು ಅದರ ಅತಿದೊಡ್ಡ ಭಾಗದಲ್ಲಿ ತೋರಿಸುತ್ತದೆ (ಚಿತ್ರ 5 ಡಿ ಯಲ್ಲಿ ಕಪ್ಪು ಚುಕ್ಕೆಗಳ ಬಾಣದಿಂದ ಗುರುತಿಸಲಾದ ಸ್ಥಾನ), ಇದು ತ್ರಿಕೋನ ಆಕಾರದಿಂದ ನಿರೂಪಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ ಮತ್ತು ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಪದರವನ್ನು ಸುಮಾರು 51 ಅಗಲದೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ. 0.33 ± 0.01 nm ನ ಇಂಟರ್ಪ್ಲಾನಾರ್ ಅಂತರವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಸಂಯೋಜನೆಯು ಕಿರಿದಾದ ಪ್ರದೇಶದ ಹಲವಾರು ಪದರಗಳ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಆಗಿ ಮತ್ತಷ್ಟು ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ (ಚಿತ್ರ 5 ಡಿ ಯಲ್ಲಿ ಘನ ಕಪ್ಪು ಬಾಣದ ಅಂತ್ಯ).
ಇಂಗಾಲದ ಲ್ಯಾಸಿ ತಾಮ್ರದ ಗ್ರಿಡ್‌ನಲ್ಲಿ ಪಾಲಿಮರ್-ಮುಕ್ತ ಎನ್‌ಯಾಗ್ ಮಾದರಿಯ ಪ್ಲ್ಯಾನರ್ ಟೆಮ್ ಚಿತ್ರ: (ಎ, ಬಿ) ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮತ್ತು ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ ಕಡಿಮೆ ವರ್ಧಕ ಟಿಇಎಂ ಚಿತ್ರಗಳು, (ಸಿಇ) ಪ್ಯಾನಲ್-ಎ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾನಲ್-ಬಿ ಯಲ್ಲಿ ವಿವಿಧ ಪ್ರದೇಶಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ವರ್ಧಕ ಚಿತ್ರಗಳು ಒಂದೇ ಬಣ್ಣದ ಬಾಣಗಳನ್ನು ಗುರುತಿಸುತ್ತವೆ. ಎ ಮತ್ತು ಸಿ ಫಲಕಗಳಲ್ಲಿನ ಹಸಿರು ಬಾಣಗಳು ಕಿರಣದ ಜೋಡಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಹಾನಿಯ ವೃತ್ತಾಕಾರದ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತವೆ. (ಎಫ್ -ಐ) ಎ ಟು ಸಿ ಫಲಕಗಳಲ್ಲಿ, ವಿವಿಧ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿನ ಎಸ್‌ಎಡಿ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಕ್ರಮವಾಗಿ ನೀಲಿ, ಸಯಾನ್, ಕಿತ್ತಳೆ ಮತ್ತು ಕೆಂಪು ವಲಯಗಳಿಂದ ಸೂಚಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಚಿತ್ರ 5 ಸಿ ಯಲ್ಲಿನ ರಿಬ್ಬನ್ ರಚನೆಯು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಲ್ಯಾಟಿಸ್ ವಿಮಾನಗಳ ಲಂಬ ದೃಷ್ಟಿಕೋನವನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ (ಕೆಂಪು ಬಾಣದಿಂದ ಗುರುತಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ), ಇದು ಚಲನಚಿತ್ರದ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ನ್ಯಾನೊಫೋಲ್ಡ್ಗಳ ರಚನೆಯಿಂದಾಗಿರಬಹುದು (ಚಿತ್ರ 5 ಸಿ ಯಲ್ಲಿ ಇನ್ಸೆಟ್) ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಬರಿಯ ಒತ್ತಡ 30,61,62 ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ. ಹೈ-ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಟಿಇಎಂ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ, ಈ ನ್ಯಾನೊಫೋಲ್ಡ್ಸ್ 30 ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಪ್ರದೇಶದ ಉಳಿದ ಭಾಗಗಳಿಗಿಂತ ವಿಭಿನ್ನ ಸ್ಫಟಿಕಶಾಸ್ತ್ರೀಯ ದೃಷ್ಟಿಕೋನವನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ; ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಲ್ಯಾಟಿಸ್‌ನ ತಳದ ವಿಮಾನಗಳು ಉಳಿದ ಚಿತ್ರಗಳಂತೆ ಅಡ್ಡಲಾಗಿ ಬದಲಾಗಿ ಬಹುತೇಕ ಲಂಬವಾಗಿ ಆಧಾರಿತವಾಗಿವೆ (ಚಿತ್ರ 5 ಸಿ ಯಲ್ಲಿ ಇನ್ಸೆಟ್). ಅಂತೆಯೇ, ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶವು ಸಾಂದರ್ಭಿಕವಾಗಿ ರೇಖೀಯ ಮತ್ತು ಕಿರಿದಾದ ಬ್ಯಾಂಡ್ ತರಹದ ಮಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ (ನೀಲಿ ಬಾಣಗಳಿಂದ ಗುರುತಿಸಲಾಗಿದೆ), ಇದು ಕ್ರಮವಾಗಿ 5 ಬಿ, 5 ಇ ಅಂಕಿಅಂಶಗಳಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ಮತ್ತು ಮಧ್ಯಮ ವರ್ಧನೆಯಲ್ಲಿ ಕಂಡುಬರುತ್ತದೆ. ಚಿತ್ರ 5 ಇ ಯಲ್ಲಿನ ಒಳಹರಿವು ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ವಲಯದಲ್ಲಿ ಎರಡು ಮತ್ತು ಮೂರು-ಪದರದ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಪದರಗಳ ಉಪಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ದೃ ms ಪಡಿಸುತ್ತದೆ (ಇಂಟರ್ಪ್ಲಾನರ್ ದೂರ 0.33 ± 0.01 ಎನ್ಎಂ), ಇದು ನಮ್ಮ ಹಿಂದಿನ ಫಲಿತಾಂಶಗಳೊಂದಿಗೆ ಉತ್ತಮ ಒಪ್ಪಂದದಲ್ಲಿದೆ. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಪಾಲಿಮರ್ ಮುಕ್ತ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ರೆಕಾರ್ಡ್ ಮಾಡಿದ ಎಸ್‌ಇಎಂ ಚಿತ್ರಗಳನ್ನು ತಾಮ್ರದ ಗ್ರಿಡ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಲೇಸಿ ಕಾರ್ಬನ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಲಾಗಿದೆ (ಉನ್ನತ-ವೀಕ್ಷಣೆ ಟಿಇಎಂ ಅಳತೆಗಳನ್ನು ಮಾಡಿದ ನಂತರ) ಚಿತ್ರ ಎಸ್‌ಐ 9 ನಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಬಾವಿ ಅಮಾನತುಗೊಂಡ ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶ (ನೀಲಿ ಬಾಣದಿಂದ ಗುರುತಿಸಲಾಗಿದೆ) ಮತ್ತು ಫಿಗರ್ ಎಸ್‌ಐ 9 ಎಫ್ ನಲ್ಲಿ ಮುರಿದ ಪ್ರದೇಶ. ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶವು ಪಾಲಿಮರ್ ಇಲ್ಲದೆ ವರ್ಗಾವಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ವಿರೋಧಿಸುತ್ತದೆ ಎಂಬುದನ್ನು ನಿರೂಪಿಸಲು ನೀಲಿ ಬಾಣವನ್ನು (ವರ್ಗಾವಣೆ ಮಾಡಿದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ತುದಿಯಲ್ಲಿ) ಉದ್ದೇಶಪೂರ್ವಕವಾಗಿ ಪ್ರಸ್ತುತಪಡಿಸಲಾಗಿದೆ. ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತವಾಗಿ, ಈ ಚಿತ್ರಗಳು ಭಾಗಶಃ ಅಮಾನತುಗೊಂಡ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ (ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ) ಟಿಇಎಂ ಮತ್ತು ಎಸ್‌ಇಎಂ ಮಾಪನಗಳ ಸಮಯದಲ್ಲಿ (ಚಿತ್ರ ಎಸ್‌ಐ 9) ಕಠಿಣ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತಕ್ಕೆ ಒಡ್ಡಿಕೊಂಡ ನಂತರವೂ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸಮತಟ್ಟಾದ ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ (ಚಿತ್ರ 5 ಎ ನೋಡಿ), ಎಸ್‌ಎಡಿ ರಚನೆಯನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಲು [0001] ಡೊಮೇನ್ ಅಕ್ಷದ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ಚಕ್ಕೆಗಳನ್ನು ಓರಿಯಂಟ್ ಮಾಡುವುದು ಕಷ್ಟವೇನಲ್ಲ. ಚಿತ್ರದ ಸ್ಥಳೀಯ ದಪ್ಪ ಮತ್ತು ಅದರ ಸ್ಥಳವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಡಿಫ್ರಾಕ್ಷನ್ ಅಧ್ಯಯನಕ್ಕಾಗಿ ಹಲವಾರು ಆಸಕ್ತಿಯ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು (12 ಅಂಕಗಳು) ಗುರುತಿಸಲಾಗಿದೆ. ಅಂಕಿ 5 ಎ -ಸಿ ಯಲ್ಲಿ, ಈ ನಾಲ್ಕು ವಿಶಿಷ್ಟ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಬಣ್ಣದ ವಲಯಗಳಿಂದ ಗುರುತಿಸಲಾಗಿದೆ (ನೀಲಿ, ಸಯಾನ್, ಕಿತ್ತಳೆ ಮತ್ತು ಕೆಂಪು ಕೋಡೆಡ್). ಎಸ್‌ಎಇಡಿ ಮೋಡ್‌ಗಾಗಿ ಅಂಕಿ 2 ಮತ್ತು 3. ಅಂಕಿ 5 ಮತ್ತು 5 ರಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವ ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶದಿಂದ ಫಿಗರ್ಸ್ 5 ಎಫ್ ಮತ್ತು ಜಿ ಅನ್ನು ಕ್ರಮವಾಗಿ ಅಂಕಿ 5 ಬಿ ಮತ್ತು ಸಿ ನಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ ಪಡೆಯಲಾಗಿದೆ. ಅವರು ತಿರುಚಿದ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ 63 ಅನ್ನು ಹೋಲುವ ಷಡ್ಭುಜೀಯ ರಚನೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದಾರೆ. ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಚಿತ್ರ 5 ಎಫ್ [0001] ವಲಯ ಅಕ್ಷದ ಒಂದೇ ದೃಷ್ಟಿಕೋನದಿಂದ ಮೂರು ಸೂಪರ್‌ಇಂಪೋಸ್ಡ್ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು 10 ° ಮತ್ತು 20 from ನಿಂದ ತಿರುಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಮೂರು ಜೋಡಿ (10-10) ಪ್ರತಿಫಲನಗಳ ಕೋನೀಯ ಅಸಾಮರಸ್ಯದಿಂದ ಸಾಕ್ಷಿಯಾಗಿದೆ. ಅಂತೆಯೇ, ಚಿತ್ರ 5 ಜಿ 20 by ನಿಂದ ತಿರುಗಿದ ಎರಡು ಸೂಪರ್‌ಇಂಪೋಸ್ಡ್ ಷಡ್ಭುಜೀಯ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿನ ಷಡ್ಭುಜೀಯ ಮಾದರಿಗಳ ಎರಡು ಅಥವಾ ಮೂರು ಗುಂಪುಗಳು ಮೂರು-ಸಮತಲದಿಂದ ಅಥವಾ ವಿಮಾನದ ಹೊರಗಿನ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಪದರಗಳಿಂದ 33 ಪರಸ್ಪರ ಸಂಬಂಧ ಹೊಂದಿವೆ. ಇದಕ್ಕೆ ವ್ಯತಿರಿಕ್ತವಾಗಿ, ಚಿತ್ರ 5 ಹೆಚ್‌ನಲ್ಲಿನ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ವಿವರ್ತನೆಯ ಮಾದರಿಗಳು, I (ಚಿತ್ರ 5 ಎ ಯಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಪ್ರದೇಶಕ್ಕೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ) ಹೆಚ್ಚಿನ ವಸ್ತು ದಪ್ಪಕ್ಕೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಒಟ್ಟಾರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪಾಯಿಂಟ್ ವಿವರ್ತನೆಯ ತೀವ್ರತೆಯೊಂದಿಗೆ ಒಂದೇ [0001] ಮಾದರಿಯನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಎಸ್‌ಎಡಿ ಮಾದರಿಗಳು ಸೂಚ್ಯಂಕ 64 ರಿಂದ er ಹಿಸಿದಂತೆ ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿಗಿಂತ ದಪ್ಪವಾದ ಗ್ರ್ಯಾಫಿಟಿಕ್ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಮಧ್ಯಂತರ ದೃಷ್ಟಿಕೋನಕ್ಕೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿವೆ. ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಸ್ಫಟಿಕದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ಗುಣಲಕ್ಷಣವು ಎರಡು ಅಥವಾ ಮೂರು ಸೂಪರ್‌ಇಂಪೋಸ್ಡ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ (ಅಥವಾ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್) ಸ್ಫಟಿಕಗಳ ಸಹಬಾಳ್ವೆಯನ್ನು ಬಹಿರಂಗಪಡಿಸಿತು. ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಗಮನಾರ್ಹವಾದ ಸಂಗತಿಯೆಂದರೆ, ಸ್ಫಟಿಕಗಳು ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಮಟ್ಟದ ವಿಮಾನದಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ಸಮತಲದ ಹೊರಗಿನ ತಪ್ಪುದಾರಿಗೆಳೆಯುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. 17 °, 22 ° ಮತ್ತು 25 of ನಲ್ಲಿನ ವಿಮಾನದ ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ಕೋನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಕಣಗಳು/ಪದರಗಳು ಈ ಹಿಂದೆ ಎನ್ಐ 64 ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಬೆಳೆದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗೆ ವರದಿಯಾಗಿದೆ. ಈ ಅಧ್ಯಯನದಲ್ಲಿ ಕಂಡುಬರುವ ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ಕೋನ ಮೌಲ್ಯಗಳು ತಿರುಚಿದ ಬಿಎಲ್‌ಜಿ 63 ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್‌ಗಾಗಿ ಹಿಂದೆ ಗಮನಿಸಿದ ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ಕೋನಗಳಿಗೆ (± 1 °) ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
NGF/SIO2/SI ಯ ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು 10 × 3 mm2 ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ 300 K ನಲ್ಲಿ ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ವಾಹಕ ಸಾಂದ್ರತೆ, ಚಲನಶೀಲತೆ ಮತ್ತು ವಾಹಕತೆಯ ಮೌಲ್ಯಗಳು ಕ್ರಮವಾಗಿ 1.6 × 1020 ಸೆಂ -3, 220 ಸೆಂ 2 ವಿ -1 ಸಿ -1 ಮತ್ತು 2000 ಎಸ್-ಸಿಎಮ್ -1. ನಮ್ಮ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಚಲನಶೀಲತೆ ಮತ್ತು ವಾಹಕತೆ ಮೌಲ್ಯಗಳು ನೈಸರ್ಗಿಕ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ 2 ಗೆ ಹೋಲುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ವಾಣಿಜ್ಯಿಕವಾಗಿ ಲಭ್ಯವಿರುವ ಹೆಚ್ಚು ಆಧಾರಿತ ಪೈರೋಲೈಟಿಕ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ (3000 ° C ನಲ್ಲಿ ಉತ್ಪಾದಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ) 29 ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ. ಗಮನಿಸಿದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಮೌಲ್ಯಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನ (3200 ° C) ಪಾಲಿಮೈಡ್ ಶೀಟ್‌ಗಳು 20 ಅನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ತಯಾರಿಸಿದ ಮೈಕ್ರಾನ್-ದಪ್ಪ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳಿಗಾಗಿ ಇತ್ತೀಚೆಗೆ ವರದಿ ಮಾಡಿದ (7.25 × 10 ಸೆಂ -3) ಎರಡು ಆದೇಶಗಳಾಗಿವೆ.
ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನಲ್ಲಿ ನಾವು ಯುವಿ-ಗೋಚರ ಪ್ರಸರಣ ಅಳತೆಗಳನ್ನು ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ತಲಾಧಾರಗಳಿಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಿದ್ದೇವೆ (ಚಿತ್ರ 6). ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಮ್ 350–800 ಎನ್‌ಎಂ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ 62% ನಷ್ಟು ನಿರಂತರ ಪ್ರಸರಣವನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಗೋಚರ ಬೆಳಕಿಗೆ ಅರೆಪಾರದರ್ಶಕವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ವಾಸ್ತವವಾಗಿ, ಚಿತ್ರ 6 ಬಿ ಯಲ್ಲಿನ ಮಾದರಿಯ ಡಿಜಿಟಲ್ photograph ಾಯಾಚಿತ್ರದಲ್ಲಿ “ಕೈಸ್ಟ್” ಹೆಸರನ್ನು ಕಾಣಬಹುದು. ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ನ್ಯಾನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ರಚನೆಯು ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಜಿಗಿಂತ ಭಿನ್ನವಾಗಿದ್ದರೂ, ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಲೇಯರ್ 65 ರ ಪ್ರತಿ 2.3% ಪ್ರಸರಣ ನಷ್ಟದ ನಿಯಮವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಪದರಗಳ ಸಂಖ್ಯೆಯನ್ನು ಸ್ಥೂಲವಾಗಿ ಅಂದಾಜು ಮಾಡಬಹುದು. ಈ ಸಂಬಂಧದ ಪ್ರಕಾರ, 38% ಪ್ರಸರಣ ನಷ್ಟವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಪದರಗಳ ಸಂಖ್ಯೆ 21 ಆಗಿದೆ. ಬೆಳೆದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮುಖ್ಯವಾಗಿ 300 ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಪದರಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಅಂದರೆ ಸುಮಾರು 100 ಎನ್‌ಎಂ ದಪ್ಪ (ಚಿತ್ರ 1, ಎಸ್‌ಐ 5 ಮತ್ತು ಎಸ್‌ಐ 7). ಆದ್ದರಿಂದ, ಗಮನಿಸಿದ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಪಾರದರ್ಶಕತೆಯು ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಮತ್ತು ಎಂಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಗೆ ಅನುರೂಪವಾಗಿದೆ ಎಂದು ನಾವು ಭಾವಿಸುತ್ತೇವೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಅವುಗಳನ್ನು ಚಿತ್ರದಾದ್ಯಂತ ವಿತರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ (ಅಂಜೂರ. 1, 3, 5 ಮತ್ತು 6 ಸಿ). ಮೇಲಿನ ರಚನಾತ್ಮಕ ದತ್ತಾಂಶದ ಜೊತೆಗೆ, ವರ್ಗಾವಣೆಗೊಂಡ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಫಟಿಕದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಪಾರದರ್ಶಕತೆ ಸಹ ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
(ಎ) ಯುವಿ-ಗೋಚರ ಪ್ರಸರಣ ಮಾಪನ, (ಬಿ) ಪ್ರತಿನಿಧಿ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯಲ್ಲಿ ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ವರ್ಗಾವಣೆ. . ಯಾದೃಚ್ mop ಿಕ ಆಕಾರಗಳು ಮತ್ತು ರೇಖಾಚಿತ್ರದಲ್ಲಿನ ಅವುಗಳ ಗಾತ್ರಗಳು ವಿವರಣಾತ್ಮಕ ಉದ್ದೇಶಗಳಿಗಾಗಿ ಮಾತ್ರ ಮತ್ತು ನಿಜವಾದ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುವುದಿಲ್ಲ.
ಸಿವಿಡಿ ಬೆಳೆದ ಅರೆಪಾರದರ್ಶಕ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಅನ್ನು ಈ ಹಿಂದೆ ಬೇರ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮೇಲ್ಮೈಗಳಿಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಸೌರ ಕೋಶಗಳಲ್ಲಿ 15,16 ರಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ವಿದ್ಯುತ್ ಪರಿವರ್ತನೆ ದಕ್ಷತೆ (ಪಿಸಿಇ) 1.5%ಆಗಿದೆ. ಈ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗಳು ಸಕ್ರಿಯ ಸಂಯುಕ್ತ ಪದರಗಳು, ಚಾರ್ಜ್ ಸಾರಿಗೆ ಮಾರ್ಗಗಳು ಮತ್ತು ಪಾರದರ್ಶಕ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಗಳಂತಹ ಅನೇಕ ಕಾರ್ಯಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಚಿತ್ರ ಏಕರೂಪವಾಗಿಲ್ಲ. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರದ ಶೀಟ್ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಪ್ರಸರಣವನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಮೂಲಕ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ಅಗತ್ಯ, ಏಕೆಂದರೆ ಈ ಎರಡು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಸೌರ ಕೋಶ 15,16 ರ ಪಿಸಿಇ ಮೌಲ್ಯವನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸುವಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವಹಿಸುತ್ತವೆ. ವಿಶಿಷ್ಟವಾಗಿ, ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು ಗೋಚರ ಬೆಳಕಿಗೆ 97.7% ಪಾರದರ್ಶಕವಾಗಿರುತ್ತವೆ, ಆದರೆ 200–3000 ಓಮ್/ಚದರ .16 ರ ಶೀಟ್ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ. ಪದರಗಳ ಸಂಖ್ಯೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವ ಮೂಲಕ (ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಪದರಗಳ ಬಹು ವರ್ಗಾವಣೆ) ಮತ್ತು ಎಚ್‌ಎನ್‌ಒ 3 (~ 30 ಓಮ್/ಚದರ.) 66 ರೊಂದಿಗೆ ಡೋಪಿಂಗ್ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಬಹಳ ಸಮಯ ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವಿಭಿನ್ನ ವರ್ಗಾವಣೆ ಪದರಗಳು ಯಾವಾಗಲೂ ಉತ್ತಮ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ಉಳಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದಿಲ್ಲ. ನಮ್ಮ ಫ್ರಂಟ್ ಸೈಡ್ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ವಾಹಕತೆ 2000 ಸೆ/ಸೆಂ, ಫಿಲ್ಮ್‌ ಶೀಟ್ ಪ್ರತಿರೋಧ 50 ಓಮ್/ಚದರ ಮುಂತಾದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಮತ್ತು 62% ಪಾರದರ್ಶಕತೆ, ಇದು ಸೌರ ಕೋಶಗಳಲ್ಲಿ ವಾಹಕ ಚಾನಲ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಕೌಂಟರ್ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಗಳಿಗೆ ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯವಾದ ಪರ್ಯಾಯವಾಗಿದೆ.
ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ರಸಾಯನಶಾಸ್ತ್ರವು ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ಗೆ ಹೋಲುತ್ತದೆ, ಅದರ ಒರಟುತನವು ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿರುತ್ತದೆ (“ಎಫ್‌ಎಸ್- ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಬೆಳವಣಿಗೆ”). ಹಿಂದೆ, ನಾವು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ 22 ಅನ್ನು ಗ್ಯಾಸ್ ಸೆನ್ಸಾರ್ ಆಗಿ ಬಳಸಿದ್ದೇವೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಅನಿಲ ಸಂವೇದನಾ ಕಾರ್ಯಗಳಿಗಾಗಿ ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಬಳಸುವ ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯತೆಯನ್ನು ನಾವು ಪರೀಕ್ಷಿಸಿದ್ದೇವೆ (ಚಿತ್ರ ಎಸ್‌ಐ 10). ಮೊದಲನೆಯದಾಗಿ, ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಎಂಎಂ 2 ಗಾತ್ರದ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಇಂಟರ್ವಿಟೇಟಿಂಗ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಸೆನ್ಸಾರ್ ಚಿಪ್ (ಚಿತ್ರ ಎಸ್‌ಐ 10 ಎ-ಸಿ) ಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಲಾಯಿತು. ಚಿಪ್ನ ಉತ್ಪಾದನಾ ವಿವರಗಳನ್ನು ಈ ಹಿಂದೆ ವರದಿ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ; ಇದರ ಸಕ್ರಿಯ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಪ್ರದೇಶವು 9 ಎಂಎಂ 267 ಆಗಿದೆ. ಎಸ್‌ಇಎಂ ಚಿತ್ರಗಳಲ್ಲಿ (ಚಿತ್ರ ಎಸ್‌ಐ 10 ಬಿ ಮತ್ತು ಸಿ), ಆಧಾರವಾಗಿರುವ ಚಿನ್ನದ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರವು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮೂಲಕ ಸ್ಪಷ್ಟವಾಗಿ ಗೋಚರಿಸುತ್ತದೆ. ಮತ್ತೆ, ಎಲ್ಲಾ ಮಾದರಿಗಳಿಗೆ ಏಕರೂಪದ ಚಿಪ್ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಂದು ನೋಡಬಹುದು. ವಿವಿಧ ಅನಿಲಗಳ ಅನಿಲ ಸಂವೇದಕ ಅಳತೆಗಳನ್ನು ದಾಖಲಿಸಲಾಗಿದೆ (ಅಂಜೂರ. SI10D) (ಅಂಜೂರ. SI11) ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ದರಗಳನ್ನು ಅಂಜೂರದಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ. Si10g. ಎಸ್‌ಒ 2 (200 ಪಿಪಿಎಂ), ಎಚ್ 2 (2%), ಸಿಎಚ್ 4 (200 ಪಿಪಿಎಂ), ಸಿಒ 2 (2%), ಎಚ್ 2 ಎಸ್ (200 ಪಿಪಿಎಂ) ಮತ್ತು ಎನ್ಎಚ್ 3 (200 ಪಿಪಿಎಂ) ಸೇರಿದಂತೆ ಇತರ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪ ಅನಿಲಗಳೊಂದಿಗೆ. ಒಂದು ಸಂಭವನೀಯ ಕಾರಣ NO2. ಗ್ಯಾಸ್ 22,68 ರ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಫಿಲಿಕ್ ಸ್ವರೂಪ. ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಹೊರಹೀರುವಾಗ, ಇದು ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಿಂದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳ ಪ್ರಸ್ತುತ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಈ ಹಿಂದೆ ಪ್ರಕಟವಾದ ಸಂವೇದಕಗಳೊಂದಿಗೆ ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಸಂವೇದಕದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಸಮಯದ ಡೇಟಾದ ಹೋಲಿಕೆಯನ್ನು ಟೇಬಲ್ ಎಸ್‌ಐ 2 ನಲ್ಲಿ ಪ್ರಸ್ತುತಪಡಿಸಲಾಗಿದೆ. ಒಡ್ಡಿದ ಮಾದರಿಗಳ ಯುವಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ, ಒ 3 ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅಥವಾ ಥರ್ಮಲ್ (50–150 ° ಸಿ) ಚಿಕಿತ್ಸೆಯನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಪುನಃ ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುವ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನವು ನಡೆಯುತ್ತಿದೆ, ಆದರ್ಶಪ್ರಾಯವಾಗಿ ಎಂಬೆಡೆಡ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್ 69 ಅನುಷ್ಠಾನ.
ಸಿವಿಡಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ವೇಗವರ್ಧಕ ತಲಾಧಾರ 41 ರ ಎರಡೂ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಬೆಳವಣಿಗೆ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ವರ್ಗಾವಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಿಎಸ್-ಗ್ರಾಫೀನ್ ಅನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹೊರಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಅಧ್ಯಯನದಲ್ಲಿ, ವೇಗವರ್ಧಕ ಬೆಂಬಲದ ಎರಡೂ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಬೆಳವಣಿಗೆ ಮತ್ತು ಪಾಲಿಮರ್ ಮುಕ್ತ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ವರ್ಗಾವಣೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಬಹುದು ಎಂದು ನಾವು ತೋರಿಸುತ್ತೇವೆ. ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ (~ 100 ಎನ್‌ಎಂ) ಗಿಂತ ತೆಳ್ಳಗಿರುತ್ತದೆ (~ 80 ಎನ್‌ಎಂ), ಮತ್ತು ಬಿಎಸ್-ಎನ್ಐ ಪೂರ್ವಗಾಮಿ ಅನಿಲ ಹರಿವಿಗೆ ನೇರವಾಗಿ ಒಡ್ಡಿಕೊಳ್ಳುವುದಿಲ್ಲ ಎಂಬ ಅಂಶದಿಂದ ಈ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ವಿವರಿಸಲಾಗಿದೆ. ನಿಯಾರ್ ತಲಾಧಾರದ ಒರಟುತನವು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಒರಟುತನದ ಮೇಲೆ ಪ್ರಭಾವ ಬೀರುತ್ತದೆ ಎಂದು ನಾವು ಕಂಡುಕೊಂಡಿದ್ದೇವೆ. ಈ ಫಲಿತಾಂಶಗಳು ಬೆಳೆದ ಪ್ಲ್ಯಾನರ್ ಎಫ್‌ಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಅನ್ನು ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್‌ಗಾಗಿ ಪೂರ್ವಗಾಮಿ ವಸ್ತುವಾಗಿ (ಎಕ್ಸ್‌ಫೋಲಿಯೇಶನ್ ವಿಧಾನ 70 ಮೂಲಕ) ಅಥವಾ ಸೌರ ಕೋಶಗಳಲ್ಲಿ 15,16 ರಲ್ಲಿ ವಾಹಕ ಚಾನಲ್ ಆಗಿ ಬಳಸಬಹುದು ಎಂದು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಇದಕ್ಕೆ ವ್ಯತಿರಿಕ್ತವಾಗಿ, ಬಿಎಸ್-ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಅನ್ನು ಅನಿಲ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಿಕೆಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ (ಅಂಜೂರ. ಎಸ್‌ಐ 9) ಮತ್ತು ಬಹುಶಃ ಇಂಧನ ಶೇಖರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ 71,72, ಅಲ್ಲಿ ಅದರ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವು ಉಪಯುಕ್ತವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
ಮೇಲಿನದನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಿ, ಸಿವಿಡಿ ಬೆಳೆದ ಈ ಹಿಂದೆ ಪ್ರಕಟವಾದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಪ್ರಸ್ತುತ ಕೃತಿಯನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸಲು ಮತ್ತು ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಉಪಯುಕ್ತವಾಗಿದೆ. ಕೋಷ್ಟಕ 2 ರಲ್ಲಿ ನೋಡಬಹುದಾದಂತೆ, ನಾವು ಬಳಸಿದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡಗಳು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿಯೂ (850–1300 ° C ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ) ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯವನ್ನು (ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಹಂತ) ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸಿದವು. ನಾವು ಸಾಮಾನ್ಯಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬೆಳವಣಿಗೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಿದ್ದೇವೆ, ಇದು ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಪರಿಗಣಿಸಬೇಕಾದ ಇತರ ಅಂಶಗಳಿವೆ, ಅವುಗಳಲ್ಲಿ ಕೆಲವು ನಾವು ಕೋಷ್ಟಕದಲ್ಲಿ ಸೇರಿಸಿದ್ದೇವೆ.
ಡಬಲ್-ಸೈಡೆಡ್ ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಅನ್ನು ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್‌ನಲ್ಲಿ ವೇಗವರ್ಧಕ ಸಿವಿಡಿ ಬೆಳೆಸಲಾಯಿತು. ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಪಾಲಿಮರ್ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವ ಮೂಲಕ (ಸಿವಿಡಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್‌ನಲ್ಲಿ ಬಳಸಿದಂತಹ), ನಾವು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ (ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್‌ನ ಹಿಂಭಾಗ ಮತ್ತು ಮುಂಭಾಗದ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿ ಬೆಳೆದ) ಶುದ್ಧ ಮತ್ತು ದೋಷ-ಮುಕ್ತ ಆರ್ದ್ರ ವರ್ಗಾವಣೆಯನ್ನು ವಿವಿಧ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ-ನಿರ್ಣಾಯಕ ತಲಾಧಾರಗಳಿಗೆ ಸಾಧಿಸುತ್ತೇವೆ. ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ, ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಎಫ್‌ಎಲ್‌ಜಿ ಮತ್ತು ಎಂಎಲ್‌ಜಿ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ (ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 100 µm2 ಗೆ 0.1% ರಿಂದ 3%) ಇವುಗಳನ್ನು ರಚನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ದಪ್ಪವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ನಲ್ಲಿ ಸಂಯೋಜಿಸಲಾಗಿದೆ. ಈ ಪ್ರದೇಶಗಳು ಎರಡು ಮೂರು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್/ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಕಣಗಳ (ಕ್ರಮವಾಗಿ ಹರಳುಗಳು ಅಥವಾ ಪದರಗಳು) ರಾಶಿಗಳಿಂದ ಕೂಡಿದೆ ಎಂದು ಪ್ಲ್ಯಾನರ್ ಟಿಇಎಂ ತೋರಿಸುತ್ತದೆ, ಅವುಗಳಲ್ಲಿ ಕೆಲವು 10–20 of ನ ಆವರ್ತಕ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ಎಫ್ಎಸ್-ಎನ್ಜಿಎಫ್ನ ಗೋಚರ ಬೆಳಕಿಗೆ ಪಾರದರ್ಶಕತೆಗೆ ಎಫ್ಎಲ್ಜಿ ಮತ್ತು ಎಂಎಲ್ಜಿ ಪ್ರದೇಶಗಳು ಕಾರಣವಾಗಿವೆ. ಹಿಂದಿನ ಹಾಳೆಗಳಿಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದಂತೆ, ಅವುಗಳನ್ನು ಮುಂಭಾಗದ ಹಾಳೆಗಳಿಗೆ ಸಮಾನಾಂತರವಾಗಿ ಸಾಗಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ, ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಉದ್ದೇಶವನ್ನು ಹೊಂದಬಹುದು (ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಅನಿಲ ಪತ್ತೆಗಾಗಿ). ಕೈಗಾರಿಕಾ ಪ್ರಮಾಣದ ಸಿವಿಡಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಈ ಅಧ್ಯಯನಗಳು ಬಹಳ ಉಪಯುಕ್ತವಾಗಿವೆ.
ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಸಿವಿಡಿ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್‌ನ ಸರಾಸರಿ ದಪ್ಪವು (ಕಡಿಮೆ ಮತ್ತು ಬಹು-ಪದರ) ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ (ಮೈಕ್ರೊಮೀಟರ್) ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಹಾಳೆಗಳ ನಡುವೆ ಇರುತ್ತದೆ. ಅವುಗಳ ಆಸಕ್ತಿದಾಯಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯು, ಅವುಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಸಾರಿಗೆಗಾಗಿ ನಾವು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿದ ಸರಳ ವಿಧಾನದೊಂದಿಗೆ ಸೇರಿ, ಈ ಚಲನಚಿತ್ರಗಳನ್ನು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಇಂಧನ-ತೀವ್ರ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ವೆಚ್ಚವಿಲ್ಲದೆ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್‌ನ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸೂಕ್ತವಾಗಿಸುತ್ತದೆ.
ವಾಣಿಜ್ಯ ಸಿವಿಡಿ ರಿಯಾಕ್ಟರ್ (ಐಯಿಕ್ಸ್ಟ್ರಾನ್ 4-ಇಂಚಿನ ಬಿಎಂಪಿಆರ್ಒ) ನಲ್ಲಿ 25-μm-ದಪ್ಪ ನಿಕ್ಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ (99.5% ಶುದ್ಧತೆ, ಗುಡ್‌ಫೆಲೋ) ಅನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ. ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಆರ್ಗಾನ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಶುದ್ಧೀಕರಿಸಲಾಯಿತು ಮತ್ತು 10-3 MBAR ನ ಮೂಲ ಒತ್ತಡಕ್ಕೆ ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸಲಾಯಿತು. ನಂತರ ನಿಕಲ್ ಫಾಯಿಲ್ ಅನ್ನು ಇರಿಸಲಾಯಿತು. AR/H2 ನಲ್ಲಿ (5 ನಿಮಿಷಗಳ ಕಾಲ ನಿ ಫಾಯಿಲ್ ಅನ್ನು ಮೊದಲೇ ಹಾಕಿದ ನಂತರ, 500 MBAR ನ ಒತ್ತಡಕ್ಕೆ 900 ° C ಗೆ ಒಡ್ಡಲಾಗುತ್ತದೆ. 5 ನಿಮಿಷಗಳ ಕಾಲ CH4/H2 (ತಲಾ 100 cm3) ನ ಹರಿವಿನಲ್ಲಿ NGF ಅನ್ನು ಜಮಾ ಮಾಡಲಾಯಿತು. ಬೇರೆಡೆ 30.
Iss ೈಸ್ ಮೆರ್ಲಿನ್ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪ್ (1 ಕೆವಿ, 50 ಪಿಎ) ಬಳಸಿ ಎಸ್‌ಇಎಂನಿಂದ ಮಾದರಿಯ ಮೇಲ್ಮೈ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನವನ್ನು ದೃಶ್ಯೀಕರಿಸಲಾಯಿತು. ಮಾದರಿ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ ಮತ್ತು ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ಎಎಫ್‌ಎಂ (ಡೈಮೆನ್ಷನ್ ಐಕಾನ್ ಎಸ್‌ಪಿಎಂ, ಬ್ರೂಕರ್) ಬಳಸಿ ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅಂತಿಮ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಕಾಶಮಾನವಾದ ಕ್ಷೇತ್ರ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆ ಗನ್ (300 ಕೆವಿ), ಎಫ್‌ಇಐ ವೈನ್ ಪ್ರಕಾರದ ಏಕವರ್ಣದ ಮತ್ತು ಸಿಇಒಗಳ ಲೆನ್ಸ್ ಗೋಳಾಕಾರದ ವಿರೂಪಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯು ಹೊಂದಿಸಲಾದ ಎಫ್‌ಇಐ ಟೈಟಾನ್ 80–300 ಘನ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪ್ ಬಳಸಿ ಟಿಇಎಂ ಮತ್ತು ಎಸ್‌ಎಇಡಿ ಅಳತೆಗಳನ್ನು ನಡೆಸಲಾಯಿತು. ಪ್ರಾದೇಶಿಕ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ 0.09 ಎನ್ಎಂ. ಫ್ಲಾಟ್ ಟಿಇಎಂ ಇಮೇಜಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಎಸ್‌ಎಇಡಿ ರಚನೆ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಗಾಗಿ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಕಾರ್ಬನ್ ಲ್ಯಾಸಿ ಲೇಪಿತ ತಾಮ್ರದ ಗ್ರಿಡ್‌ಗಳಿಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಲಾಯಿತು. ಹೀಗಾಗಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಾದರಿ ಫ್ಲೋಕ್‌ಗಳನ್ನು ಪೋಷಕ ಪೊರೆಯ ರಂಧ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಅಮಾನತುಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ವರ್ಗಾವಣೆಗೊಂಡ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಎಕ್ಸ್‌ಆರ್‌ಡಿ ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಿದೆ. ಎಕ್ಸರೆ ಡಿಫ್ರಾಕ್ಟೋಮೀಟರ್ (ಬ್ರಕರ್, ಬ್ರಕರ್, ಕ್ಯು ಕೆ ಮೂಲದೊಂದಿಗೆ ಡಿ 2 ಹಂತದ ಶಿಫ್ಟರ್, 1.5418 Å ಮತ್ತು ಲಿಂಕ್ಸಿ ಡಿಟೆಕ್ಟರ್) ಬಳಸಿ ಎಕ್ಸರೆ ಡಿಫ್ರಾಕ್ಷನ್ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಲಾಗಿದೆ.
ಸಂಯೋಜಿತ ಕಾನ್ಫೋಕಲ್ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪ್ (ಆಲ್ಫಾ 300 ಆರ್ಎ, ವೈಟೆಕ್) ಬಳಸಿ ಹಲವಾರು ರಾಮನ್ ಪಾಯಿಂಟ್ ಅಳತೆಗಳನ್ನು ದಾಖಲಿಸಲಾಗಿದೆ. ಉಷ್ಣ ಪ್ರೇರಿತ ಪರಿಣಾಮಗಳನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಕಡಿಮೆ ಪ್ರಚೋದಕ ಶಕ್ತಿ (25%) ಹೊಂದಿರುವ 532 ಎನ್ಎಂ ಲೇಸರ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಲಾಯಿತು. ಎಕ್ಸರೆ ಫೋಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ (ಎಕ್ಸ್‌ಪಿಎಸ್) ಅನ್ನು ಕ್ರಾಟೋಸ್ ಆಕ್ಸಿಸ್ ಅಲ್ಟ್ರಾ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಮೀಟರ್‌ನಲ್ಲಿ 300 × 700 μm2 ರ ಮಾದರಿ ಪ್ರದೇಶದ ಮೇಲೆ ಏಕವರ್ಣದ ಅಲ್ ಕೆ α ವಿಕಿರಣವನ್ನು (ಎಚ್‌ν = 1486.6 ಇವಿ) 150 ಡಬ್ಲ್ಯೂ. SIO2 ಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಲಾದ NGF ಮಾದರಿಗಳನ್ನು 30 W. ತಾಮ್ರದ ತಂತಿ ಸಂಪರ್ಕಗಳನ್ನು (50 μm ದಪ್ಪ) PLS6MW (1.06 μM) YTTerbium ಫೈಬರ್ ಲೇಸರ್ ಬಳಸಿ ತುಂಡುಗಳಾಗಿ ಕತ್ತರಿಸಲಾಯಿತು (ತಲಾ 3 × 10 mm2) ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಬೆಳ್ಳಿ ಪೇಸ್ಟ್ ಬಳಸಿ ತಯಾರಿಸಲಾಯಿತು. ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾರಿಗೆ ಮತ್ತು ಹಾಲ್ ಪರಿಣಾಮದ ಪ್ರಯೋಗಗಳನ್ನು ಈ ಮಾದರಿಗಳ ಮೇಲೆ 300 ಕೆ ಮತ್ತು ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ಅಳತೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ± 9 ಟೆಸ್ಲಾದ ಕಾಂತಕ್ಷೇತ್ರದ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ನಡೆಸಲಾಯಿತು (ಪಿಪಿಎಂಎಸ್ ಎವರ್‌ಕೂಲ್- II, ಕ್ವಾಂಟಮ್ ಡಿಸೈನ್, ಯುಎಸ್ಎ). 350–800 ಎನ್‌ಎಂ ಎನ್‌ಜಿಎಫ್ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಲ್ಯಾಂಬ್ಡಾ 950 ಯುವಿ -ವಿಐಎಸ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಫೋಟೋಮೀಟರ್ ಬಳಸಿ ಹರಡುವ ಯುವಿ -ವಿಐಎಸ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಾವನ್ನು ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ ತಲಾಧಾರಗಳು ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ಉಲ್ಲೇಖ ಮಾದರಿಗಳಿಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಲಾಗಿದೆ.
ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧ ಸಂವೇದಕವನ್ನು (ಪರಸ್ಪರ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಚಿಪ್) ಕಸ್ಟಮ್ ಮುದ್ರಿತ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಬೋರ್ಡ್ 73 ಗೆ ತಂತಿ ಮಾಡಲಾಯಿತು ಮತ್ತು ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಅಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಹೊರತೆಗೆಯಲಾಯಿತು. ಸಾಧನವು ಇರುವ ಮುದ್ರಿತ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಬೋರ್ಡ್ ಅನ್ನು ಸಂಪರ್ಕ ಟರ್ಮಿನಲ್‌ಗಳಿಗೆ ಸಂಪರ್ಕಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಗ್ಯಾಸ್ ಸೆನ್ಸಿಂಗ್ ಚೇಂಬರ್ 74 ರೊಳಗೆ ಇರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಪ್ರತಿರೋಧ ಮಾಪನಗಳನ್ನು 1 ವಿ ವೋಲ್ಟೇಜ್‌ನಲ್ಲಿ ಶುದ್ಧೀಕರಣದಿಂದ ಅನಿಲ ಮಾನ್ಯತೆಗೆ ನಿರಂತರ ಸ್ಕ್ಯಾನ್ ಮಾಡಿ ನಂತರ ಮತ್ತೆ ಶುದ್ಧೀಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ತೇವಾಂಶ ಸೇರಿದಂತೆ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿರುವ ಎಲ್ಲಾ ಇತರ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು 1 ಗಂಟೆಯವರೆಗೆ 200 ಸೆಂ 3 ಕ್ಕೆ ಸಾರಜನಕದೊಂದಿಗೆ ಶುದ್ಧೀಕರಿಸುವ ಮೂಲಕ ಕೊಠಡಿಯನ್ನು ಆರಂಭದಲ್ಲಿ ಸ್ವಚ್ ed ಗೊಳಿಸಲಾಯಿತು. N2 ಸಿಲಿಂಡರ್ ಅನ್ನು ಮುಚ್ಚುವ ಮೂಲಕ ವೈಯಕ್ತಿಕ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಗಳನ್ನು ನಿಧಾನವಾಗಿ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ 200 ಸೆಂ 3 ರ ಅದೇ ಹರಿವಿನ ದರದಲ್ಲಿ ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಲಾಯಿತು.
ಈ ಲೇಖನದ ಪರಿಷ್ಕೃತ ಆವೃತ್ತಿಯನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಲೇಖನದ ಮೇಲ್ಭಾಗದಲ್ಲಿರುವ ಲಿಂಕ್ ಮೂಲಕ ಪ್ರವೇಶಿಸಬಹುದು.
ಇನಾಗಾಕಿ, ಎಮ್. ಮತ್ತು ಕಾಂಗ್, ಎಫ್. ಕಾರ್ಬನ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ಸ್ ಸೈನ್ಸ್ ಮತ್ತು ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್: ಫಂಡಮೆಂಟಲ್ಸ್. ಎರಡನೇ ಆವೃತ್ತಿ ಸಂಪಾದಿಸಲಾಗಿದೆ. 2014. 542.
ಪಿಯರ್ಸನ್, ಹೋ ಹ್ಯಾಂಡ್‌ಬುಕ್ ಆಫ್ ಕಾರ್ಬನ್, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್, ಡೈಮಂಡ್ ಮತ್ತು ಫುಲ್ಲರೆನ್ಸ್: ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಮತ್ತು ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳು. ಮೊದಲ ಆವೃತ್ತಿಯನ್ನು ಸಂಪಾದಿಸಲಾಗಿದೆ. 1994, ನ್ಯೂಜೆರ್ಸಿ.
ತ್ಸೈ, ಡಬ್ಲ್ಯೂ. ಮತ್ತು ಇತರರು. ದೊಡ್ಡ ಪ್ರದೇಶದ ಮಲ್ಟಿಲೇಯರ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್/ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು ಪಾರದರ್ಶಕ ತೆಳುವಾದ ವಾಹಕ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಗಳಾಗಿ. ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್. ಭೌತಶಾಸ್ತ್ರ. ರೈಟ್. 95 (12), 123115 (2009).
ಬಾಲಾಂಡಿನ್ ಎಎ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಮತ್ತು ನ್ಯಾನೊಸ್ಟ್ರಕ್ಚರ್ಡ್ ಇಂಗಾಲದ ವಸ್ತುಗಳ ಉಷ್ಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು. ನ್ಯಾಟ್. ಮ್ಯಾಟ್. 10 (8), 569–581 (2011).
ಚೆಂಗ್ ಕೆವೈ, ಬ್ರೌನ್ ಪಿಡಬ್ಲ್ಯೂ ಮತ್ತು ಕಾಹಿಲ್ ಡಿಜಿ ಕಡಿಮೆ-ತಾಪಮಾನದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆಯಿಂದ ಎನ್ಐ (111) ನಲ್ಲಿ ಬೆಳೆದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ. ಕ್ರಿಯಾವಿಶೇಷಣ. ಮ್ಯಾಟ್. ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ 3, 16 (2016).
ಹೆಸ್ಜೆಡಾಲ್, ಟಿ. ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆಯಿಂದ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ ನಿರಂತರ ಬೆಳವಣಿಗೆ. ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್. ಭೌತಶಾಸ್ತ್ರ. ರೈಟ್. 98 (13), 133106 (2011).