Mèsi pou vizite Nature.com. Vèsyon an nan navigatè w ap itilize gen limite CSS sipò. Pou pi bon rezilta, nou rekòmande ke ou itilize yon vèsyon plus nan navigatè ou a (oswa enfim mòd konpatibilite nan Internet Explorer). Nan entre -temps la, asire sipò kontinyèl, nou ap montre sit la san yo pa manier oswa JavaScript.
Nanoscale Graphite Films (NGFs) yo se nanomateryal gaya ki ka pwodwi pa depozisyon vapè chimik katalizè, men kesyon rete sou fasilite yo nan transfè ak ki jan mòfoloji sifas afekte itilize yo nan pwochen-jenerasyon aparèy. Isit la nou rapòte kwasans lan nan NGF sou tou de bò nan yon papye polikristalin nikèl (zòn 55 cm2, epesè sou 100 nm) ak transfè polymère-gratis li yo (devan ak dèyè, zòn jiska 6 cm2). Akòz mòfolojik papye katalis la, de fim kabòn yo diferan nan pwopriyete fizik yo ak lòt karakteristik (tankou brutality sifas). Nou demontre ke NGFs ak yon dèyè rud yo byen adapte pou deteksyon NO2, pandan y ap douser ak plis kondiktè NGFs sou bò devan (2000 s/cm, rezistans fèy - 50 om/M2) ka kondiktè solid. Chèn oswa electrodes nan selil solè a (depi li transmèt 62% nan limyè vizib). An jeneral, pwosesis kwasans ak transpò ki dekri yo ka ede reyalize NGF kòm yon materyèl kabòn altènatif pou aplikasyon teknolojik kote grafèn ak fim grafit mikron-epè yo pa apwopriye.
Graphite se yon materyèl endistriyèl lajman itilize. Miyò, grafit gen pwopriyete yo nan dansite mas relativman ba ak segondè nan-avyon tèmik ak konduktiviti elektrik, epi li se trè ki estab nan anviwònman piman bouk tèmik ak chimik1,2. Flake Graphite se yon byen li te ye materyèl kòmanse pou graphene Research3. Lè trete nan fim mens, li kapab itilize nan yon pakèt domèn aplikasyon pou, ki gen ladan lavabo chalè pou aparèy elektwonik tankou smartphones4,5,6,7, kòm yon materyèl aktif nan detèktè8,9,10 ak pou pwoteksyon entèferans elektwomayetik11. 12 ak fim pou litografi nan ekstrèm iltravyolèt13,14, fè chanèl nan selil solè15,16. Pou tout aplikasyon sa yo, li ta yon avantaj enpòtan si gwo zòn nan fim grafit (NGFs) ak epesè kontwole nan nanoskal la <100 nm ta ka fasil pwodwi ak transpòte.
Fim grafit yo pwodwi pa divès metòd. Nan yon sèl ka, yo te entegre ak ekspansyon ki te swiv pa èksfolyasyon yo te itilize yo pwodwi grafèn flak10,11,17. Flak yo dwe plis trete nan fim nan epesè yo mande yo, epi li souvan pran plizyè jou yo pwodwi dra grafit dans. Yon lòt apwòch se kòmanse ak graphitable precursors solid. Nan endistri, fèy papye yo nan Polymers yo carbonized (nan 1000-1500 ° C) ak Lè sa a, grafitize (nan 2800-3200 ° C) yo fòme byen estriktire materyèl kouch. Malgre ke bon jan kalite a nan fim sa yo se wo, konsomasyon enèji a se siyifikatif1,18,19 ak epesè a minimòm limite a sa sèlman yon kèk microns1,18,19,20.
Depozisyon Catalytic Vapè Chimik (kardyovaskulèr) se yon metòd byen li te ye pou pwodwi grafèn ak fim grafit ultrathin (<10 nm) ak bon jan kalite segondè estriktirèl ak pri rezonab21,22,23,24,25,26,27. Sepandan, konpare ak kwasans lan nan grafèn ak ultrathin grafit fim28, gwo-zòn kwasans ak/oswa aplikasyon nan NGF lè l sèvi avèk CVD se menm mwens eksplore11,13,29,30,31,32,33.
Graphene-grandi grafèn ak fim grafit souvan bezwen transfere sou substrates fonksyonèl34. Sa yo transfè fim mens enplike de metòd prensipal35: (1) ki pa Peye-etch transfè36,37 ak (2) ki baze sou ki baze sou mouye chimik transfè (substrate sipòte) 14,34,38. Chak metòd gen kèk avantaj ak dezavantaj epi yo dwe chwazi depann sou aplikasyon an gen entansyon, jan sa dekri yon lòt kote35,39. Pou grafèn/grafit fim grandi sou substrats kataliz, transfè atravè pwosesis chimik mouye (ki polimetil metakrilat (PMMA) se kouch nan sipò ki pi souvan itilize) rete premye chwa a13,30,34,38,40,41,42. Ou et al. Li te mansyone ke pa gen okenn polymère itilize pou NGF transfè (gwosè echantiyon apeprè 4 cm2) 25,43, men pa gen okenn detay yo te bay konsènan estabilite echantiyon ak/oswa manyen pandan transfè; Pwosesis chimi mouye lè l sèvi avèk Polymers konpoze de plizyè etap, ki gen ladan aplikasyon an ak retire ki vin apre nan yon sakrifis polymère kouch30,38,40,41,42. Pwosesis sa a gen dezavantaj: pou egzanp, résidus polymère ka chanje pwopriyete yo nan fim nan grandi. Lòt pwosesis ka retire polymère rezidyèl, men etap sa yo adisyonèl ogmante pri a ak tan nan pwodiksyon fim38,40. Pandan kwasans CVD, se yon kouch grafèn depoze pa sèlman sou bò devan an nan papye a katalis (bò a fè fas a koule nan vapè), men tou sou bò tounen li yo. Sepandan, se lèt la konsidere kòm yon pwodwi dechè epi yo ka byen vit retire pa plasma38,41 mou. Resiklaj fim sa a ka ede maksimize sede, menm si li se nan pi ba bon jan kalite pase figi kabòn fim.
Isit la, nou rapòte preparasyon an nan wafer-echèl kwasans bifacial nan NGF ak bon jan kalite segondè estriktirèl sou papye polikristalin nikèl pa kardyovaskulèr. Li te evalye ki jan brutality nan devan an ak sifas dèyè nan papye a afekte mòfolojik la ak estrikti nan NGF. Nou menm tou nou demontre pri-efikas ak zanmitay anviwònman an polymère-gratis transfè nan NGF soti nan tou de bò nan papye nikèl sou substrats multi epi montre ki jan fim sa yo devan ak dèyè yo apwopriye pou aplikasyon pou divès kalite.
Seksyon sa yo diskite sou diferan epesè fim grafit depann sou kantite kouch grafèn anpile: (i) grafèn kouch sèl (SLG, 1 kouch), (ii) kèk grafèn kouch (FLG, <10 kouch), (iii) grafèn multi (MLG, 10-30 kouch) ak (iv) NGF (~ 300 kouch). Lèt la se epesè ki pi komen ki eksprime kòm yon pousantaj nan zòn (apeprè 97% zòn pou chak 100 µm2) 30. Se poutèt sa se fim nan tout tou senpleman rele NGF.
Polycrystalline nikèl papye yo itilize pou sentèz la nan grafèn ak grafit fim gen tèkstur diferan kòm yon rezilta nan fabrike yo ak pwosesis ki vin apre. Dènyèman, nou te rapòte yon etid pou optimize pwosesis kwasans NGF30. Nou montre ke paramèt pwosesis tankou rkwir tan ak presyon chanm pandan etap nan kwasans jwe yon wòl kritik nan jwenn NGFs nan epesè inifòm. Isit la, nou pli lwen envestige kwasans lan nan NGF sou devan poli (FS) ak unpolished tounen (BS) sifas nan papye nikèl (Fig. 1A). Twa kalite echantiyon FS ak BS yo te egzamine, ki nan lis nan tablo 1. Sou enspeksyon vizyèl, kwasans inifòm nan NGF sou tou de bò papye a nikèl (NIAG) ka wè pa chanjman an koulè nan substrate a esansyèl Ni ki sòti nan yon karakteristik metalik gri an ajan nan yon ma koulè gri (Fig. 1A); Mezi mikwoskopik yo te konfime (Fig. 1B, C). Yon spectre Raman tipik nan FS-NGF obsève nan rejyon an klere ak endike nan flèch wouj, ble ak zoranj nan Figi 1b yo montre nan Figi 1C. Karakteristik Raman tèt yo nan grafit G (1683 cm - 1) ak 2d (2696 cm - 1) konfime kwasans lan nan NGF trè cristalline (Fig. 1C, Tab SI1). Pandan tout fim nan, yo te obsève yon predominans nan spèktr Raman ak rapò entansite (I2D/IG) ~ 0.3, pandan y ap spèktr Raman ak I2D/IG = 0.8 raman obsève. Absans la nan tèt ki defektye (d = 1350 cm-1) nan fim nan tout endike bon jan kalite a segondè nan kwasans NGF. Rezilta menm jan Raman yo te jwenn sou echantiyon an BS-NGF (Figi SI1 A ak B, Tab SI1).
Comparison of NiAG FS- and BS-NGF: (a) Photograph of a typical NGF (NiAG) sample showing NGF growth at wafer scale (55 cm2) and the resulting BS- and FS-Ni foil samples, (b) FS-NGF Images/ Ni obtained by an optical microscope, (c) typical Raman spectra recorded at different positions in panel b, (d, f) SEM images at different Mayifikasyon sou FS -NGF/NI, (E, G) SEM imaj nan magnifikasyon diferan kouche BS -NGF/NI. Flèch la ble endike rejyon an FLG, flèch la zoranj endike rejyon an MLG (tou pre rejyon an FLG), flèch wouj la endike rejyon an NGF, ak flèch la Magenta endike pliye la.
Depi kwasans depann sou epesè nan substra inisyal la, gwosè kristal, oryantasyon, ak limit grenn jaden, reyisi kontwòl rezonab nan epesè NGF sou gwo zòn rete yon defi20,34,44. Etid sa a te itilize kontni nou te deja pibliye30. Pwosesis sa a pwodui yon rejyon klere nan 0.1 a 3% pou chak 100 µm230. Nan seksyon sa yo, nou prezante rezilta pou tou de kalite rejyon yo. Segondè mikwoskòp imaj SEM montre prezans nan plizyè zòn kontras klere sou tou de bò (Fig. 1F, G), ki endike prezans nan FLG ak MLG rejyon30,45. Sa a te konfime tou pa simaye Raman (Fig. 1C) ak rezilta TEM (diskite pita nan seksyon an "FS-NGF: estrikti ak pwopriyete"). Rejyon yo FLG ak MLG obsève sou FS- ak BS-NGF/NI echantiyon (devan ak dèyè NGF grandi sou NI) ka te grandi sou gwo NI (111) grenn ki te fòme pandan pre-annealing22,30,45. Folding te obsève sou tou de bò yo (Fig. 1b, ki make ak flèch koulè wouj violèt). Sa yo ranpa yo souvan yo te jwenn nan CVD-grandi grafèn ak grafit fim akòz gwo diferans lan nan koyefisyan nan ekspansyon tèmik ant grafit la ak nikèl substrate30,38 la.
Imaj la AFM konfime ke echantiyon an FS-NGF te flate pase echantiyon an BS-NGF (Figi SI1) (Figi SI2). Rasin vle di kare a (RMS) valè brutality nan FS-NGF/NI (Fig. SI2C) ak BS-NGF/NI (Fig. Si2d) yo se 82 ak 200 nm, respektivman (mezire sou yon zòn nan 20 × 20 μm2). Ka pi wo brutality a dwe konprann ki baze sou analiz la sifas nan nikèl la (NiAR) papye nan eta a kòm-resevwa (Figi SI3). Imaj SEM nan FS ak BS-NIAR yo montre nan figi Si3a-D, demontre diferan morfoloji sifas: poli FS-NI papye gen nano- ak micron ki menm gwosè ak patikil esferik, pandan y ap unpolished BS-NI FOIL ekspozisyon yon nechèl pwodiksyon. kòm patikil ki gen gwo fòs. ak bès. Yo montre imaj rezolisyon ki ba ak segondè nan papye nikèl rkwit (NIA) nan figi Si3e -H. Nan figi sa yo, nou ka obsève prezans nan plizyè micron ki menm gwosè ak patikil nikèl sou tou de bò nan papye a nikèl (Fig. Si3e-H). Grenn gwo ka gen yon Ni (111) oryantasyon sifas, kòm deja rapòte30,46. Gen diferans siyifikatif nan morfoloji papye nikèl ant FS-NIA ak BS-NIA. Brutality ki pi wo nan BS-NGF/NI se akòz sifas la unpolished nan BS-NIAR, sifas la nan ki rete siyifikativman ki graj menm apre rkwir (Figi SI3). Sa a ki kalite karakterizasyon sifas anvan pwosesis la kwasans pèmèt brutality nan grafèn ak grafit fim yo dwe kontwole. Li ta dwe te note ke substra orijinal la sibi kèk reyòganizasyon grenn jaden pandan kwasans grafèn, ki yon ti kras diminye gwosè a grenn jaden ak yon ti jan ogmante brutality nan sifas nan substra a konpare ak papye a rkwit ak katalis Film22.
Fine-akor brutality nan sifas substrate, rkwir tan (gwosè grenn jaden) 30,47 ak lage kontwòl43 ap ede diminye rejyonal inifòm NGF epesè nan µm2 a ak/oswa menm echèl NM2 (sètadi, varyasyon epesè nan yon nanometers kèk). Pou kontwole brutality nan sifas nan substra a, metòd tankou polisaj elektwolitik nan papye a nikèl ki kapab lakòz ka konsidere kòm48. FOIL nan nikèl pretrate ka Lè sa a, dwe rkwit nan yon tanperati ki pi ba (<900 ° C) 46 ak tan (<5 min) pou fè pou evite fòmasyon nan gwo Ni (111) grenn (ki se benefis pou kwasans FLG).
SLG ak FLG grafèn se kapab kenbe tèt ak tansyon an sifas nan asid ak dlo, ki egzije kouch sipò mekanik pandan pwosesis mouye transfè chimik22,34,38. Kontrèman a transfè a chimik mouye nan polymère-sipòte yon sèl-kouch graphene38, nou te jwenn ke tou de bò nan kòm-grandi NGF la ka transfere san yo pa sipò polymère, jan yo montre nan Figi 2A (gade Figi SI4A pou plis detay). Transfè nan NGF nan yon substra bay kòmanse ak grave grave nan fim nan kache NI30.49. Echantiyon yo grandi NGF/NI/NGF yo te mete lannwit lan nan 15 ml 70% HNO3 dilye ak 600 ml deionized (DI) dlo. Apre papye a Ni konplètman fonn, FS-NGF rete plat ak flote sou sifas la nan likid la, jis tankou echantiyon an NGF/NI/NGF, pandan y ap BS-NGF se benyen nan dlo (Fig. 2A, B). NGF izole a te Lè sa a, transfere soti nan yon vaz a bèk ki gen fre dlo deionized nan yon lòt vaz a bèk ak NGF la izole te lave byen, repete kat a sis fwa nan plat la vè konkav. Finalman, FS-NGF ak BS-NGF yo te mete sou substrate a vle (Fig. 2C).
Polymer-free wet chemical transfer process for NGF grown on nickel foil: (a) Process flow diagram (see Figure SI4 for more details), (b) Digital photograph of separated NGF after Ni etching (2 samples), (c) Example FS – and BS-NGF transfer to SiO2/Si substrate, (d) FS-NGF transfer to opaque polymer substrate, (e) BS-NGF soti nan echantiyon an menm jan ak panèl D (divize an de pati), transfere nan lò plake papye C ak Nafion (fleksib substrate transparan, bor ki make ak kwen wouj).
Remake byen ke transfè SLG fè lè l sèvi avèk metòd mouye transfè chimik mande pou yon tan pwosesis total de 20-24 èdtan 38. Avèk teknik transfè polymère-gratis demontre isit la (Figi SI4A), se tan an pwosesis an jeneral NGF transfè siyifikativman redwi (apeprè 15 èdtan). Pwosesis la konsiste de: (Etap 1) Prepare yon solisyon grave epi mete echantiyon an nan li (~ 10 minit), Lè sa a, rete tann lannwit lan pou Ni grave (~ 7200 minit), (Etap 2) rense ak dlo deionized (etap - 3). magazen nan dlo deionized oswa transfere nan sib substrate (20 min). Dlo bloke ant NGF la ak matris la esansyèl yo retire pa aksyon kapilè (lè l sèvi avèk papye blot) 38, Lè sa a, ti gout yo dlo ki rete yo retire pa siye natirèl (apeprè 30 min), epi finalman se echantiyon an seche pou 10 min. Min nan yon fou vakyòm (10-1 mbar) nan 50-90 ° C (60 min) 38.
Grafit se li te ye kenbe tèt avè prezans nan dlo ak lè nan tanperati jistis wo (≥ 200 ° C) 50,51,52. Nou teste echantiyon yo lè l sèvi avèk Raman spèktroskopi, SEM, ak XRD apre depo nan dlo deionized nan tanperati chanm ak nan boutèy sele pou nenpòt kote nan yon kèk jou nan yon ane (Figi SI4). Pa gen okenn degradasyon aparan. Figi 2C montre gratis-kanpe FS-NGF ak BS-NGF nan dlo deionized. Nou te kaptire yo sou yon substrate SiO2 (300 nm)/Si, jan yo montre nan kòmansman an nan Figi 2C. Anplis de sa, jan yo montre nan Figi 2D, E, NGF kontinyèl ka transfere nan substrats divès kalite tankou Polymers (thermabright poliamid soti nan Nexolve ak Nafion) ak lò-kouvwi papye kabòn. K ap flote FS-NGF la te fasil mete sou sib la sib (Fig. 2C, D). Sepandan, BS-NGF echantiyon pi gwo pase 3 cm2 te difisil okipe lè konplètman benyen nan dlo. Anjeneral, lè yo kòmanse woule nan dlo, akòz manyen neglijans yo pafwa kraze nan de oswa twa pati (Fig. 2e). An jeneral, nou te kapab reyalize polymère-gratis transfè nan PS- ak BS-NGF (kontinyèl transfè san pwoblèm san NGF/NI/NGF kwasans nan 6 cm2) pou echantiyon jiska 6 ak 3 cm2 nan zòn nan, respektivman. Nenpòt ki rete gwo oswa ti moso yo ka (fasil wè nan solisyon an grave oswa dlo deionized) sou substrate a vle (~ 1 mm2, figi Si4b, gade echantiyon transfere nan kadriyaj kwiv tankou nan "FS-NGF: estrikti ak pwopriyete (diskite) anba" estrikti ak pwopriyete "oswa magazen pou ou itilize (Figi SI4). jiska 98-99% (apre kwasans pou transfè).
Echantiyon transfè san polymère yo te analize an detay. Karakteristik morfolojik sifas yo jwenn sou FS- ak BS-NGF/SiO2/SI (Fig. 2C) lè l sèvi avèk mikroskopi optik (OM) ak imaj SEM (Fig. Si5 ak Fig. 3) te montre ke echantiyon sa yo te transfere san yo pa mikroskopi. Vizib domaj estriktirèl tankou fant, twou, oswa zòn deroule. Pliye yo sou NGF la ap grandi (Fig. 3B, D, make pa flèch koulè wouj violèt) rete entak apre transfè. Tou de FS- ak BS-NGF yo konpoze de rejyon FLG (rejyon klere ki endike nan flèch ble nan Figi 3). Surprenante, nan contrast nan rejyon yo kèk domaje tipikman obsève pandan transfè polymère nan fim grafit ultrathin, plizyè micron ki menm gwosè ak rejyon FLG ak MLG ki konekte nan NGF la (make pa flèch ble nan Figi 3D) yo te transfere san yo pa fant oswa repo (Figi 3D). 3). . Te entegrite mekanik pli lwen konfime lè l sèvi avèk TEM ak SEM imaj nan NGF transfere sou kadriyaj dantèl-kabòn kwiv, jan yo diskite pita ("FS-NGF: estrikti ak pwopriyete"). Transfere BS-NGF/SiO2/SI a se rud pase FS-NGF/SiO2/SI ak valè RMS nan 140 nm ak 17 nm, respektivman, jan yo montre nan figi Si6a ak B (20 × 20 μm2). Valè a RMS nan NGF transfere sou substrate a SiO2/Si (RMS <2 nm) se siyifikativman pi ba (apeprè 3 fwa) pase sa yo ki an NGF grandi sou NI (Figi SI2), ki endike ke brutality adisyonèl la ka koresponn ak sifas la NI. Anplis de sa, imaj AFM ki fèt sou bor yo nan FS- ak BS-NGF/SiO2/SI echantiyon yo te montre NGF epesè nan 100 ak 80 nm, respektivman (Fig. SI7). Epesè ki pi piti nan BS-NGF ka yon rezilta nan sifas la pa te dirèkteman ekspoze a gaz la précurseur.
Transfere NGF (NIAG) san yo pa polymère sou SiO2/Si wafer (gade Figi 2C): (a, b) imaj SEM nan transfere FS-NGF: ba ak gwo agrandisman (ki koresponn a kare a zoranj nan panèl la). Zòn tipik) - a). (C, D) Imaj SEM nan transfere BS-NGF: ki ba ak segondè mikwoskòp (ki koresponn a zòn nan tipik yo montre nan kare a zoranj nan panèl C). (E, F) imaj AFM nan transfere FS- ak BS-NGFs. Blue flèch reprezante rejyon an FLG - Bright kontras, Cyan flèch - Nwa MLG kontras, flèch wouj - Nwa kontras reprezante rejyon an NGF, Magenta flèch reprezante pliye la.
Konpozisyon chimik la nan grandi ak transfere FS- ak BS-NGFs te analize pa X-ray fotoelectron spèktroskopi (XPS) (Fig. 4). Yon pik fèb te obsève nan spèktr yo mezire (Fig. 4A, B), ki koresponn a substrate a NI (850 eV) nan granmoun yo FS- ak BS-NGFs (NIAG). Pa gen okenn tèt nan spèktr yo mezire nan transfere FS- ak BS-NGF/SiO2/SI (Fig. 4C; rezilta menm jan an pou BS-NGF/SiO2/SI yo pa montre), ki endike ke pa gen okenn kontaminasyon rezidyèl NI apre transfè. Figi 4d-f montre spèktr yo wo-rezolisyon nan C 1 S, O 1 S ak Si 2p nivo enèji nan FS-NGF/SiO2/Si. Enèji obligatwa nan C 1 s nan grafit se 284.4 EV53.54. Se fòm nan lineyè nan tèt grafit jeneralman konsidere kòm asimetrik, jan yo montre nan Figi 4d54. Spectrum nan wo-rezolisyon nwayo-nivo C 1 s (Fig. 4D) tou konfime transfè pi (sètadi, pa gen résidus polymère), ki se ki konsistan avèk etid anvan yo38. Linewidths yo nan spèktr yo C 1 s nan echantiyon an frèch grandi (NIAG) ak apre transfè yo se 0.55 ak 0.62 eV, respektivman. Valè sa yo pi wo pase sa yo ki nan SLG (0.49 eV pou SLG sou yon substrate SiO2) 38. Sepandan, valè sa yo pi piti pase deja rapòte linewidths pou echantiyon grafèn trè oryante grafèn (~ 0.75 eV) 53,54,55, ki endike absans la nan sit kabòn ki defektye nan materyèl aktyèl la. C 1 S ak O 1 s tè espèk yo tou manke zepòl, elimine bezwen an pou segondè-rezolisyon pik deconvolution54. Gen yon π → π* satelit pik alantou 291.1 eV, ki se souvan obsève nan echantiyon grafit. 103 eV ak 532.5 EV siyal yo nan SI 2P ak O 1 s nwayo nivo spèktr (al gade Fig. 4E, F) yo atribiye a SiO2 56 substrate a, respektivman. XPS se yon teknik sifas-sansib, se konsa siyal yo ki koresponn a Ni ak SiO2 detekte anvan ak apre transfè NGF, respektivman, yo sipoze orijine soti nan rejyon an FLG. Rezilta ki sanble yo te obsève pou transfere echantiyon BS-NGF (pa montre).
Rezilta NIAG XPS: (AC) sondaj spèktr nan diferan konpozisyon atomik elemantè nan grandi FS-NGF/NI, BS-NGF/NI ak transfere FS-NGF/SiO2/SI, respektivman. (D-F) Spèktr wo-rezolisyon nan nivo debaz yo C 1 S, O 1s ak Si 2p nan echantiyon an FS-NGF/SiO2/Si.
Bon jan kalite a an jeneral nan kristal yo transfere NGF te evalye lè l sèvi avèk X-ray difraksyon (XRD). Modèl tipik XRD (Fig. Si8) nan transfere FS- ak BS-NGF/SiO2/Si montre prezans nan tèt diffraction (0 0 0 2) ak (0 0 0 4) nan 26.6 ° ak 54.7 °, menm jan ak grafit. . Sa a konfime bon jan kalite a cristalline segondè nan NGF ak koresponn ak yon distans entèrlayer nan d = 0.335 nm, ki se konsève apre etap la transfè. Entansite a nan pik la difraksyon (0 0 0 2) se apeprè 30 fwa sa yo ki an pik la difraksyon (0 0 0 4), ki endike ke plan an kristal NGF se byen aliyen ak sifas la echantiyon.
Dapre rezilta yo nan SEM, Raman spèktroskopi, XPS ak XRD, bon jan kalite a nan BS-NGF/NI yo te jwenn yo dwe menm jan ak sa yo ki an FS-NGF/NI, byenke rudman RMS li yo te yon ti kras pi wo (figi Si2, SI5) ak SI7).
SLG ak kouch sipò polymère jiska 200 nm epè ka flote sou dlo. Sa a se konfigirasyon souvan itilize nan polymère-assisted mouye pwosesis transfè chimik22,38. Graphene ak grafit yo idrofob (ang mouye 80-90 °) 57. Yo te rapòte sifas enèji potansyèl tou de grafèn ak FLG yo dwe byen plat, ak enèji ki ba potansyèl (~ 1 kJ/mol) pou mouvman lateral la nan dlo nan sifas la58. Sepandan, enèji yo entèraksyon kalkile nan dlo ak grafèn ak twa kouch grafèn yo apeprè - 13 ak - 15 kJ/mol, 58 respektivman, ki endike ke entèraksyon an nan dlo ak NGF (apeprè 300 kouch) se pi ba konpare ak grafèn. Sa a pouvwa ap youn nan rezon ki fè otonòm NGF rete plat sou sifas la nan dlo, pandan y ap otonòm grafèn (ki flote nan dlo) boukl leve, li kraze. Lè NGF se konplètman benyen nan dlo (rezilta yo se menm bagay la pou ki graj ak plat NGF), bor li Bend (Figi SI4). Nan ka imèsyon konplè, li espere ke enèji entèraksyon NGF-dlo a prèske double (konpare ak NGF k ap flote) e ke bor yo nan pliye nan NGF yo kenbe yon ang kontak segondè (idrofobite). Nou kwè ke estrateji yo ka devlope pou fè pou evite keurlin nan bor yo nan entegre NGFs. Yon apwòch se sèvi ak Solvang melanje modile reyaksyon an pipi nan fim nan grafit59.
Te transfè a nan SLG nan divès kalite substrats atravè pwosesis transfè chimik mouye te deja rapòte. Li se jeneralman aksepte ke fèb van der Waals fòs egziste ant grafèn/grafit fim ak substrats (se pou li rijid substrats tankou SiO2/Si38,41,46,60, SiC38, Au42, Si poto22 ak Lacy Kabòn Films30, 34 oswa fleksib substrats tankou polyimide 37). Isit la nou asime ke entèraksyon nan menm kalite a predominan. Nou pa t 'obsève okenn domaj oswa penti kap dekale nan NGF pou nenpòt nan substrats yo prezante isit la pandan manyen mekanik (pandan karakterizasyon anba vakyòm ak/oswa kondisyon atmosferik oswa pandan depo) (egzanp, Figi 2, SI7 ak SI9). Anplis de sa, nou pa t 'obsève yon pik SiC nan spectre la XPS C 1 s nan nivo debaz la nan echantiyon an NGF/SiO2/Si (Fig. 4). Rezilta sa yo endike ke pa gen okenn kosyon chimik ant NGF ak sib la sib.
Nan seksyon anvan an, "polymère-gratis transfè nan FS- ak BS-NGF," nou demontre ke NGF ka grandi ak transfere sou tou de bò nan papye nikèl. Sa yo FS-NGFs ak BS-NGFs yo pa idantik an tèm de brutality sifas yo, ki pouse nou yo eksplore aplikasyon yo ki pi apwopriye pou chak kalite.
Lè ou konsidere sifas la transparans ak douser nan FS-NGF, nou etidye estrikti lokal li yo, pwopriyete optik ak elektrik nan plis detay. Estrikti a ak estrikti nan FS-NGF san yo pa transfè polymère yo te karakterize pa transmisyon mikroskopi elèktron (TEM) D 'ak chwazi zòn elèktron difraksyon (SAED) modèl analiz. Rezilta ki koresponn yo yo montre nan Figi 5. Low mikwoskòp planar TEM D 'revele prezans nan NGF ak rejyon FLG ak diferan karakteristik elèktron kontras, sètadi pi fonse ak zòn briyan, respektivman (Fig. 5A). Fim nan an jeneral montre bon entegrite mekanik ak estabilite ant rejyon yo diferan nan NGF ak FLG, ak sipèpoze bon ak pa gen okenn domaj oswa chire, ki te tou konfime pa SEM (Figi 3) ak gwo etid TEM mikwoskòp (Figi 5C-E). An patikilye, nan figi. Konpozisyon an ak yon espas entèrplanèr nan 0.33 ± 0.01 nm se plis redwi a plizyè kouch grafèn nan rejyon an etwat (nan fen flèch la solid nwa nan Figi 5 d).
Planar TEM Imaj nan yon polymère-gratis echantiyon NIAG sou yon kabòn Lacy kadriyaj kwiv: (A, B) ba agrandisman imaj TEM ki gen ladan NGF ak rejyon FLG, (CE) segondè mikwoskòp imaj nan rejyon divès nan panèl-A ak panèl-B yo make flèch nan menm koulè a. Flèch vèt nan panno A ak C endike zòn sikilè nan domaj pandan aliyman gwo bout bwa. (F - I) Nan panno A a C, modèl SAED nan diferan rejyon yo endike pa ble, syan, zoranj, ak ti sèk wouj, respektivman.
Estrikti nan riban nan Figi 5c montre (make ak flèch wouj) oryantasyon an vètikal nan avyon yo lasi grafit, ki ka rive akòz fòmasyon nan nanofolds ansanm fim nan (antre nan Figi 5c) akòz depase uncompensated taye lenn30,61,62. Anba TEM-wo rezolisyon, nanofolds sa yo 30 montre yon diferan oryantasyon kristalografik pase rès la nan rejyon an NGF; Avyon yo fondamantal nan lasi a grafit yo oryante prèske vètikal, olye ke orizontal tankou rès la nan fim nan (antre nan Figi 5c). Menm jan tou, rejyon an FLG detanzantan montre lineyè ak etwat bann-tankou ranpa (make pa flèch ble), ki parèt nan mikwoskòp ki ba ak mwayen nan figi 5b, 5e, respektivman. Anndan nan Figi 5E konfime prezans nan de- ak twa-kouch kouch grafèn nan sektè a FLG (entèplanar distans 0.33 ± 0.01 nm), ki se nan bon akò ak rezilta anvan nou yo30. Anplis de sa, anrejistre imaj SEM nan polymère-gratis NGF transfere sou kadriyaj kwiv ak Lacy fim kabòn (apre fè tèt-view mezi TEM) yo montre nan figi Si9. Rejyon an byen sispann FLG (make ak flèch ble) ak rejyon an kase nan figi Si9f. Se flèch la ble (nan kwen nan NGF la transfere) entansyonèlman prezante yo demontre ke rejyon an FLG ka reziste pwosesis la transfè san yo pa polymère. An rezime, imaj sa yo konfime ke pasyèlman sispann NGF (ki gen ladan rejyon an FLG) kenbe entegrite mekanik menm apre manyen rijid ak ekspoze a vakyòm segondè pandan TEM ak SEM mezi (Figi SI9).
Akòz ekselan excelesses nan NGF (al gade Figi 5A), li pa difisil pou oryante flak yo ansanm ak domèn [0001] aks pou analize estrikti SAED la. Tou depan de epesè lokal la nan fim nan ak kote li yo, plizyè rejyon nan enterè (12 pwen) yo te idantifye pou etid difraksyon elèktron. Nan figi 5A -C, kat nan rejyon sa yo tipik yo montre ak make ak ti sèk ki gen koulè (ble, syan, zoranj, ak wouj kode). Figi 2 ak 3 pou mòd SAED. Figi 5F ak G yo te jwenn nan rejyon an FLG yo montre nan figi 5 ak 5. jan yo montre nan figi 5b ak c, respektivman. Yo gen yon estrikti egzagonal menm jan ak grafène Twisted. An patikilye, Figi 5F montre twa modèl supèrpoz ak menm oryantasyon an nan [0001] aks zòn nan, vire toutotou a pa 10 ° ak 20 °, kòm evidans nan dezekilib la angilè nan twa pè yo nan (10-10) refleksyon. Menm jan tou, Figi 5G montre de supèrpoze modèl egzagonal vire toutotou a 20 °. De oswa twa gwoup nan modèl egzagonal nan rejyon an FLG ka leve soti nan twa nan-avyon oswa soti-of-avyon grafèn kouch 33 wotasyon relatif youn ak lòt. Nan contrast, modèl yo difraksyon elèktron nan Figi 5H, mwen (ki koresponn a rejyon an NGF yo montre nan Figi 5A) montre yon sèl [0001] modèl ak yon jeneral pi wo pwen difraksyon entansite, ki koresponn a pi gwo epesè materyèl. Modèl SAED sa yo koresponn ak yon estrikti graphitic pi epè ak oryantasyon entèmedyè pase FLG, kòm dedwi soti nan endèks la 64. Karakterizasyon nan pwopriyete yo cristalline nan NGF devwale viv ansanm nan de oswa twa grafit supèrpoze (oswa grafèn) kristalit. Ki sa ki se patikilyèman remakab nan rejyon an FLG se ke kristalit yo gen yon sèten degre nan nan-avyon oswa soti-of-plan misorientation. Patikil grafit/kouch ak ang nan-avyon wotasyon nan 17 °, 22 ° ak 25 ° te deja te rapòte pou NGF grandi sou NI 64 fim. Valè ang wotasyon yo obsève nan etid sa a konsistan avèk ang wotasyon deja obsève (± 1 °) pou grafèn BLG63 sere.
Pwopriyete elektrik NGF/SiO2/SI yo te mezire nan 300 K sou yon zòn nan 10 × 3 mm2. Valè yo nan konsantrasyon konpayi asirans elèktron, mobilite ak konduktiviti yo se 1.6 × 1020 cm-3, 220 cm2 V-1 C-1 ak 2000 S-CM-1, respektivman. Valè mobilite ak konduktivite nan NGF nou yo sanble ak grafit natirèl2 ak pi wo pase komèsyal ki disponib trè oryante grafit pirolitik (ki pwodui nan 3000 ° C) 29. Valè konsantrasyon elèktron yo obsève yo se de lòd nan grandè pi wo pase sa yo ki fèk rapòte (7.25 × 10 cm-3) pou micron-epè fim grafit prepare lè l sèvi avèk gwo tanperati (3200 ° C) fèy poliimid 20.
Nou menm tou nou fè mezi transmisyon UV-vizib sou FS-NGF transfere nan substrats kwats (Figi 6). Spectre a ki kapab lakòz montre yon transmisyon prèske konstan nan 62% nan seri a 350-800 nm, ki endike ke NGF se translusid nan limyè vizib. An reyalite, non an "KAUST" ka wè nan foto a dijital nan echantiyon an nan Figi 6b. Malgre ke estrikti nan nanokristalin nan NGF se diferan de sa yo ki an SLG, ki kantite kouch ka apeprè estime lè l sèvi avèk règ la nan 2.3% pèt transmisyon pou chak kouch plis 65. Selon relasyon sa a, kantite kouch grafèn ak pèt transmisyon 38% se 21. NGF ki grandi sitou konsiste de 300 kouch grafèn, sètadi sou 100 nm epè (Fig. 1, Si5 ak SI7). Se poutèt sa, nou asime ke obsève transparans optik la koresponn ak rejyon yo FLG ak MLG, depi yo distribye nan tout fim nan (Fig. 1, 3, 5 ak 6C). Anplis de done ki anwo yo estriktirèl, konduktiviti ak transparans tou konfime bon jan kalite a segondè cristalline nan NGF la transfere.
(a) mezi transmisyon UV-vizib, (b) tipik transfè NGF sou kwats lè l sèvi avèk yon echantiyon reprezantan. (C) Schematic nan NGF (bwat nwa) ak respire distribye FLG ak rejyon MLG make kòm gri fòm o aza nan tout echantiyon an (gade Figi 1) (apeprè 0.1-3% zòn pou chak 100 μm2). Fòm yo o aza ak gwosè yo nan dyagram lan se pou rezon ilistrasyon sèlman epi yo pa koresponn ak zòn aktyèl.
Te translusid NGF grandi pa kardyovaskulèr te deja transfere nan fè sifas Silisyòm ak itilize nan selil solè15,16. Efikasite nan konvèsyon pouvwa ki kapab lakòz (PCE) se 1.5%. NGFs sa yo fè plizyè fonksyon tankou kouch konpoze aktif, chemen transpò chaj, ak elektwòd transparan15,16. Sepandan, fim nan grafit se pa inifòm. Pli lwen optimize ki nesesè pa ak anpil atansyon kontwole rezistans nan fèy ak transmisyon optik nan electrodes la grafit, depi de pwopriyete sa yo jwe yon wòl enpòtan nan detèmine valè a PCE nan selil la solè15,16. Tipikman, fim grafèn yo se 97.7% transparan nan limyè vizib, men gen yon rezistans fèy nan 200-3000 om/sq.16. Ka rezistans nan sifas nan grafèn fim ap redwi pa ogmante kantite kouch (transfè miltip nan grafèn kouch) ak dopan ak HNO3 (~ 30 ohm/sq.) 66. Sepandan, pwosesis sa a pran yon tan long ak kouch yo transfè diferan pa toujou kenbe bon kontak. NGF bò devan nou an gen pwopriyete tankou konduktivite 2000 s/cm, fim rezistans fèy 50 ohm/sq. ak 62% transparans, fè li yon altènatif solid pou chanèl kondiktè oswa elektwòd vann san preskripsyon nan selil solè15,16.
Malgre ke estrikti a ak chimi sifas nan BS-NGF yo sanble ak FS-NGF, brutality li yo se diferan ("kwasans nan FS- ak BS-NGF"). Précédemment, nou itilize ultra-mens fim Graphite22 kòm yon Capteur gaz. Se poutèt sa, nou teste posibilite a nan lè l sèvi avèk BS-NGF pou gaz kèk travay (Figi SI10). Premyèman, yo te transfere pòsyon MM2 ki menm gwosè ak BS-NGF sou chip Capteur Electrodes entdigite (Figi SI10A-C). Detay fabrikasyon nan chip a te deja rapòte; Zòn aktif li yo sansib se 9 mm267. Nan imaj yo SEM (Figi SI10B ak C), electrodes an lò kache se vizib klèman nan NGF la. Ankò, li ka wè ki te inifòm pwoteksyon chip reyalize pou tout echantiyon yo. Yo te anrejistre mezi Capteur gaz nan divès gaz (Fig. SI10D) (Fig. SI11) ak pousantaj yo repons ki kapab lakòz yo montre nan Fig. SI10G. Gen anpil chans ak lòt gaz entèfere ki gen ladan SO2 (200 ppm), H2 (2%), CH4 (200 ppm), CO2 (2%), H2S (200 ppm) ak NH3 (200 ppm). Yon kòz posib se NO2. Nati electrophilic nan gaz22,68 la. Lè adsorbed sou sifas la nan grafèn, li diminye absòpsyon aktyèl la nan elektwon pa sistèm lan. Yon konparezon nan done yo tan repons nan Capteur a BS-NGF ak deja pibliye detèktè prezante nan tablo SI2. Mekanis nan pou reyaktif detèktè NGF lè l sèvi avèk UV plasma, O3 Plasma oswa tèmik (50-150 ° C) tretman nan echantiyon ekspoze se kontinyèl, depreferans ki te swiv pa aplikasyon an nan entegre Systems69.
Pandan pwosesis CVD a, kwasans grafèn rive sou tou de bò nan katalis substrate41 la. Sepandan, BS-grafèn se anjeneral chase pandan pwosesis la transfè41. Nan etid sa a, nou demontre ke bon jan kalite kwasans NGF ak polymère-gratis transfè NGF kapab reyalize sou tou de bò nan sipò nan katalis. BS-NGF se mens (~ 80 nm) pase FS-NGF (~ 100 nm), epi li se diferans sa a eksplike pa lefèt ke BS-NI pa dirèkteman ekspoze a koule nan gaz précurseur. Nou menm tou nou te jwenn ke brutality nan substrate a NIAR enfliyanse brutality nan NGF la. Rezilta sa yo endike ke yo ka itilize Planar FS-NGF la kòm yon materyèl précurseur pou grafèn (pa èksfolyasyon metòd70) oswa kòm yon kanal kondiktè nan selil solè15,16. Nan contrast, BS-NGF yo pral itilize pou deteksyon gaz (Fig. Si9) epi pètèt pou sistèm depo enèji71,72 kote brutality sifas li yo pral itil.
Lè ou konsidere pi wo a, li itil nan konbine travay aktyèl la ak deja pibliye fim grafit grandi nan kardyovaskulèr ak lè l sèvi avèk papye nikèl. Kòm ou ka wè nan tablo 2, presyon ki pi wo nou itilize pi kout tan an reyaksyon (etap kwasans) menm nan tanperati relativman ba (nan seri a nan 850-1300 ° C). Nou menm tou nou reyalize pi gwo kwasans pase nòmal, ki endike potansyèl pou ekspansyon. Gen lòt faktè yo konsidere, kèk nan yo ki nou te enkli nan tablo a.
Double-sided-wo kalite NGF te grandi sou papye nikèl pa kataliz CVD. Pa elimine substrats polymère tradisyonèl (tankou sa yo ki te itilize nan CVD grafèn), nou reyalize pwòp ak domaj-gratis transfè mouye nan NGF (grandi sou do a ak bò devan nan papye nikèl) nan yon varyete de pwosesis-kritik substrats. Miyò, NGF gen ladan FLG ak MLG rejyon (tipikman 0.1% a 3% pou chak 100 µm2) ki struktural byen entegre nan fim nan pi epè. Planar TEM montre ke rejyon sa yo ki konpoze de pil nan de a twa grafit/grafèn patikil (kristal oswa kouch, respektivman), kèk nan yo ki gen yon dezekilib wotasyon nan 10-20 °. Rejyon yo FLG ak MLG yo responsab pou transparans nan FS-NGF nan limyè vizib. Kòm pou fèy papye yo dèyè yo, yo ka pote paralèl ak fèy papye yo devan, epi, jan yo montre, ka gen yon bi fonksyonèl (pou egzanp, pou deteksyon gaz). Etid sa yo trè itil pou diminye dechè ak depans nan pwosesis CVD echèl endistriyèl yo.
An jeneral, epesè an mwayèn nan CVD NGF bay manti ant (ki ba- ak milti-kouch) grafèn ak endistriyèl (mikrometrik) fèy papye grafit. Ranje a nan pwopriyete ki enteresan yo, konbine avèk metòd la senp nou te devlope pou pwodiksyon yo ak transpò, fè fim sa yo patikilyèman apwopriye pou aplikasyon pou ki mande repons lan fonksyonèl nan grafit, san yo pa depans lan nan enèji-entansif pwosesis yo pwodiksyon endistriyèl kounye a itilize.
Yon papye nikèl 25-μm-epè (99.5% pite, Goodfellow) te enstale nan yon reaktè CVD komèsyal (Aixtron 4-pous BMPRO). Sistèm lan te netwaye ak Agon ak evakye nan yon presyon baz nan 10-3 mbar. Lè sa a, yo te mete papye nikèl. Nan AR/H2 (apre pre-anneal papye a Ni pou 5 min, yo te papye a ekspoze a yon presyon nan 500 mbar nan 900 ° C. NGF te depoze nan yon koule nan CH4/H2 (100 cm3 chak) pou 5 min. Echantiyon an te Lè sa a, refwadi a tanperati ki anba a 700 ° C lè l sèvi avèk AR koule nan (4000 cm3) nan 40 ° yo. yon lòt kote30.
Te morfoloji nan sifas nan echantiyon an vizualiz pa SEM lè l sèvi avèk yon Zeiss Merlin mikwoskòp (1 kV, 50 pA). Yo te mezire brutality nan sifas echantiyon ak epesè NGF lè l sèvi avèk AFM (dimansyon icon SPM, Bruker). TEM ak mezi SAED yo te pote soti lè l sèvi avèk yon FEI TITAN 80-300 kib mikwoskòp ekipe ak yon gwo zam emisyon segondè emisyon (300 kV), yon FEI Wien Monokromatè kalite ak yon CEOS lantiy korektè aberasyon esferik jwenn rezilta final yo. Rezolisyon espasyal 0.09 nm. Echantiyon NGF yo te transfere nan kabòn Lacy kouvwi kadriyaj kwiv pou D 'TEM plat ak analiz estrikti SAED. Se konsa, pi fò nan echantiyon yo floc yo sispann nan porositë yo nan manbràn nan sipòte. Transfere echantiyon NGF yo te analize pa XRD. Modèl difraksyon X-ray yo te jwenn lè l sèvi avèk yon diffractometer poud (Brucker, D2 faz shifted ak Cu Kα sous, 1.5418 Å ak Lynxeye detektè) lè l sèvi avèk yon sous radyasyon CU ak yon dyamèt plas gwo bout bwa nan 3 mm.
Plizyè mezi pwen Raman yo te anrejistre lè l sèvi avèk yon entegre mikwoskòp konfok (Alpha 300 RA, Witec). Yon lazè 532 nm ak pouvwa eksitasyon ki ba (25%) te itilize pou fè pou evite efè tèmik pwovoke. X-ray fotoelectron spèktroskopi (XPS) te fèt sou yon kratos aks ultra spectrometer espektwomèt sou yon zòn echantiyon nan 300 × 700 μm2 lè l sèvi avèk monokrom Al Kα radyasyon (Hν = 1486.6 EV) nan yon pouvwa nan 150 W. rezolisyon spèktr te jwenn nan transmisyon anjèn nan 160 EV ak EV, respektivman. Echantiyon NGF transfere sou SiO2 yo te koupe an moso (3 × 10 mm2 chak) lè l sèvi avèk yon PLS6MW (1.06 μm) ytterbium fib lazè nan 30 W. kontak fil kwiv (50 μm epè) yo te fabrike lè l sèvi avèk paste ajan anba yon mikwoskòp optik. Transpò elektrik ak eksperyans efè sal yo te pote soti sou echantiyon sa yo nan 300 K ak yon varyasyon jaden mayetik nan ± 9 Tesla nan yon sistèm mezi fizik pwopriyete (ppms Evercool-II, Quantum Design, USA). Transmèt UV -vis spèktr yo te anrejistre lè l sèvi avèk yon lambda 950 UV -vis spektrofotomètr nan 350-800 nm NGF ranje a transfere nan kwats substrats ak echantiyon referans kwatz.
Capteur rezistans chimik la (chip electrodes entèdi) te branche nan yon tablo koutim enprime sikwi 73 ak rezistans a te extrait pasajè. Komisyon Konsèy la Awondisman enprime sou ki se aparèy la ki sitiye ki konekte nan terminaux yo kontak epi yo mete andedan gaz la kèk chanm 74. Mezi rezistans yo te pran nan yon vòltaj nan 1 V ak yon eskanè kontinyèl soti nan wete bagay ekspoze gaz ak Lè sa a, wete bagay ankò. Chanm lan te okòmansman netwaye pa netwaye ak nitwojèn nan 200 cm3 pou 1 èdtan asire retire nan tout lòt analytes prezan nan chanm lan, ki gen ladan imidite. Analytes endividyèl yo te Lè sa a, tou dousman lage nan chanm lan nan menm pousantaj la koule nan 200 cm3 pa fèmen silenn lan N2.
Yon vèsyon revize nan atik sa a te pibliye epi yo ka jwenn aksè nan lyen ki nan tèt atik la.
Inagaki, M. ak Kang, F. Kabòn Materyèl Syans ak Jeni: Fondamantal. Dezyèm edisyon edited. 2014. 542.
Pearson, Ho Manyèl nan kabòn, grafit, dyaman ak fullerenes: pwopriyete, pwosesis ak aplikasyon pou. Premye edisyon an te modifye. 1994, New Jersey.
Tsai, W. et al. Gwo zòn multilayer grafèn/grafit fim kòm transparan elektwòd kondiktè mens. aplikasyon. Fizik. Wright. 95 (12), 123115 (2009).
Balandin AA pwopriyete tèmik nan grafèn ak nanostructured materyèl kabòn. Nat. Matt. 10 (8), 569-581 (2011).
Cheng KY, Brown PW ak Cahill DG konduktiviti tèmik nan fim grafit grandi sou Ni (111) pa ba-tanperati chimik vapè depo. adverb. Matt. Entèfas 3, 16 (2016).
Hesjedal, T. Kwasans kontinyèl nan fim grafèn pa depo chimik vapè. aplikasyon. Fizik. Wright. 98 (13), 133106 (2011).
Post tan: Aug-23-2024