У процесі виробництва багатьох напівпровідникових виробів для покращення їхньої продуктивності необхідно додавати графітовий порошок. При використанні напівпровідникових виробів графітовий порошок необхідно вибирати з високою чистотою, дрібною зернистістю та стійкістю до високих температур. Він відповідає вимогам напівпровідникових виробів і водночас не має негативного впливу на них. За яких умов графітовий порошок використовується у напівпровідникових виробах?
Графітовий порошок
1, для виробництва напівпровідників необхідно вибирати графітовий порошок високої чистоти.
У напівпровідниковій промисловості попит на графітові порошкові матеріали високий, і чим вища чистота, тим краще. Особливо це стосується графітових компонентів, які безпосередньо контактують з напівпровідниковим матеріалом, наприклад, у формі для спікання, що призводить до забруднення напівпровідникового матеріалу домішками. Тому графіт повинен суворо контролювати не лише чистоту сировини, але й шляхом високотемпературної графітизації, щоб мінімізувати вміст золи.
2, для виробництва напівпровідника необхідно вибирати графітовий порошок з високим розміром частинок.
Графітовий матеріал для напівпровідникової промисловості вимагає дрібних частинок, дрібночастинковий графіт не тільки легко досягає точності обробки, але й має високу термостійкість та невеликі втрати, особливо для спікання прес-форм, що вимагає високої точності обробки.
3, для виробництва напівпровідників необхідно використовувати високотемпературний графітовий порошок.
Оскільки графітові пристрої, що використовуються в напівпровідниковій промисловості (включаючи нагрівачі та спікальні матриці), повинні витримувати багаторазові процеси нагрівання та охолодження, для покращення терміну служби графітових пристроїв графітові матеріали, що використовуються при високих температурах, мають гарну розмірну стабільність та термостійкість.
Час публікації: 26 листопада 2021 р.