Margar hálfleiðaravörur þurfa að bæta grafítdufti við framleiðslu til að bæta afköst vörunnar. Þegar notaðar eru hálfleiðaravörur þarf að velja grafítduft með mikilli hreinleika, fínkornun og háum hitaþol. Það er nauðsynlegt að uppfylla kröfur um slíkt. Á sama tíma mun það ekki hafa neikvæð áhrif á hálfleiðaravörur. Við hvaða aðstæður má nota grafítduft í hálfleiðurum, eins og lýst er hér að neðan.
Grafítduft
1. Við framleiðslu á hálfleiðurum þarf að velja grafítduft með mikilli hreinleika.
Hálfleiðaraiðnaðurinn hefur mikla eftirspurn eftir grafítdufti. Því hreinni sem er, því meiri, því betra. Sérstaklega grafítþættir sem komast í beina snertingu við hálfleiðaraefni, eins og sintrunarmót, menga óhreinindi og menga hálfleiðaraefni. Þess vegna skal ekki aðeins stranglega stjórna hreinleika hráefna við notkun grafíts, heldur einnig lágmarka öskuinnihald við háhita grafítmeðferð.
2, við framleiðslu á hálfleiðurum þarf að velja grafítduft með mikilli agnastærð.
Grafítefni í hálfleiðaraiðnaði krefjast fínni agnastærðar, fínkornagrafít er ekki aðeins auðvelt að ná nákvæmni í vinnslu, heldur einnig háhitastyrkur og lítið tap, sérstaklega fyrir sintrunarmót sem krefst mikillar vinnslunákvæmni.
3. Við framleiðslu á hálfleiðurum þarf að velja grafítduft sem þolir háan hita.
Þar sem grafíttæki sem notuð eru í hálfleiðaraiðnaðinum (þar á meðal hitari og sintrunarmót) þurfa að þola endurteknar upphitunar- og kælingarferli, er gott að nota grafítefni við háan hita með góðum víddarstöðugleika og varmaáhrifum til að auka endingartíma grafíttækja.
Birtingartími: 26. nóvember 2021