どの黒鉛粉末が半導体加工に利用できるか

多くの半導体製造において、製品の性能向上を目的としてグラファイト粉末が添加されますが、すべてのグラファイト粉末が要求を満たすわけではありません。半導体用途では、グラファイト粉末は通常、純度、粒径、耐熱性などが考慮されます。以下では、どのようなグラファイト粉末が半導体加工に適しているかについて、Furuiteグラファイト解説をお届けします。

グラファイト粉末

1. 純度規制

半導体産業における黒鉛粉末原料の要求水準は非常に高く、特に2つの黒鉛素子が接触する部分では、不純物が多すぎると原料が汚染されてしまう。そのため、黒鉛原料の純度を厳密に管理するだけでなく、高温処理によって黒鉛の濃度を最小限まで低減する必要がある。

2．粒子径分布に関する規定

半導体産業グレードのグラファイト原料は微粒子化されており、微粒子状のグラファイトは製造および加工精度が非常に高く、高温圧縮強度が高く、消費量も少ないという利点があります。

3．耐熱性に関する規定

半導体産業におけるグラファイトデバイスの製造では、ほとんどのデバイスで連続的な加熱と冷却が行われます。デバイスの性能を向上させるために、グラファイト原料は高温下で優れた信頼性と耐熱衝撃性能を発揮します。

上記規定に準拠した黒鉛粉末は、半導体製造プロセスにおいてより効果的に使用できます。工業生産用の黒鉛粉末の購入をご希望の場合は、ぜひ古井黒鉛工場までお越しください。詳細をご案内いたします。